Коллеги

Подскажите где в Москве или ее окрестностях можно сделать двустоннюю фотолитографию на пластинах 100 мм, 5-10 пластин, мин размер 1 микрон.

Ответа так и нет, тот же вопрос интересует.

Ну, как минимум где-то в Зеленограде наверное...

Я бы мог помочь, если вам не требуется совмещение рисунков на обеих сторонах пластины, ну и если остальные детали процесса подойдут. Но я не из РФ...

Сегодня наконец запустили свою установку дыухстороннего совмещения экспонирования Suss MJB4
http://nano.yar.ru/

Что почём? В смысле установка?