Здравствуйте.
Думаю такая тема уже была, но я её не нашёл (может её закрепить стоит?).

Итак, я хотел бы поближе познакомиться с технологией проектирования ИС. Недавно прочёл книгу "Интегральные микросхемы и основы их проектирования", авторы Николаев и Филинюк - книга хорошая но она 1992 года, 20 лет всё-таки прошло. Есть ли ещё хорошие книги о технологиях и процессах, лежащих в основе работы ИС?

P. S.: Кое-какую литературу можно найти, но она, в основном, о EDA или о глобальных проблемах этой отрасли.
P.P.S: Английский знаю, поэтому англоязычные книги не проблема.

Можно как-нибудь поконкретнее. Вас интересует проектирование ИС или технология изготовления ИС. Из Вашего поста я не понял.Если проектирование, что каких ИС: цифровых, аналоговых? Или Вас интересую общие сведения?

Цифровых или аналоговых пока не знаю ещё, но думаю, что предпочтительнее цифровые, т.к. это всё-таки универсальный вариант. В тоже время аналоговые ИС чаще используются в моей специальности (она связана с радиоэлектроникой). В первую очередь интересуют общие сведения, например: как производить расчёт резисторов, конденсаторов, транзисторов и т.д., т.е. какие там должны быть слои (n-слои и p-слои) и как они взаимодействуют друг с другом, если имеет место полупроводниковая ИС; какие есть материалы в ходу; какую лучше выбрать топологию и прочие вопросы расчёта. Про технологию тоже неплохо будет.

Приношу извинения за сумбурность, просто эта тема меня заинтересовала, а связанные с ИС предметы если и будут на моём направлении, то нескоро и я уверен, что они будут малоинформативны, поэтому пока мне трудно ориентироваться в этом вопросе.

Если цифровых то:
1) Математические основы цифровой техники (Булева алгебра и т.п.)
2) Язык Verilog
3) Для начинающих цифровых дизайнеров ничего не надо знать про расчёты резисторов, технологию полупроводников и т.п.
Это за вас уже сделали всё умные дядьки и снабдили ваш Xilinx ISE большой зелёной кнопкой
4) Учите прикладную математико в разделе DSP

PiuPiuBam. Очень много литературы на FTP сервере, но так как доступ к нему Вы не имеете, то включите свой ящик, чтобы можно было скинуть ссылки Dropbox с кое-какой литературой. По технологии и приборам скачайте тут: https://www.dropbox.com/s/kb8io00xz8e4hmj/%...%D1%8F.rar?dl=0

Спасибо большое всем, кто отозвался. Я раньше считал, что книг по ИС кот наплакал.

TiNat, почтовый ящик теперь виден, если Вы это имели в виду.

PiuPiuBam. Пытаюсь отправить Вам личеное сообщение, пишет следующее:
Невозможно отправить это сообщение, так как получатель отключил свой личный ящик, или он попросту переполнен.
Оставьте тогда свой e-mail, буду туда писать сообщения. Насчет литературы, вот еще набор книг, качайте:
https://www.dropbox.com/s/gc130eba6t3y1ya/Universal.rar?dl=0

Добрый день!

Посоветуйте, пожалуйста, литературу, в которой описывался бы процесс производства литографических масок и особенности применения (совмещение и т.п.).
Можно что-то древнее.
Перерыл множество книг, в поисковике ничего не нашел. Все книги о проектировании и производстве выглядят примерно так:
How semiconductor chips are made
То есть сама литография где-то в стороне, как само собой разумеющееся.

Пока искал, нашел забавный документ -- оплаченное DARPA исследование процесса изготовления фотошаблонов с помощью офисного принтера.
Prototyping of Masks, Masters, and Stamps/Molds for Soft Lithography Using an Office Printer and Photographic Reduction

Тоже искал в свое время, есть книга Introduction to Microfabrication Sami Franssila 2004 года (лежит на популярных ресурсах). В ней есть информация и по маскам и по литографии, и по всему процессу. Книга начального уровня, но требует определенных знаний из химии и физики.

Shivers, спасибо большое. Уже есть второе издание 2010 года.

Еще что-то нашел по кл. словам:
Photomasks Fabrication Based on Optical Reduction

Очень хорошая книга для начинающих - R. Jacob Baker, CMOS Circuit Design, Layout and Simulation.
В ней преимущественно про схемотехническое проектирование, но также есть немного и про технологию, физику МОП-транзистора и разработку топологии.
Для меня она одна из основных книг, по которым я изучал проектирование ИС.

Технология СБИС, С.Зи. Книга 1, 1986г. Целый раздел по литографическим методам, немного есть про физику операций.
Технология полупроводниковых приборов и изделий. Книга 8. Литографические процессы, В.В. Мартынов 1990. Целая книжка по данному вопросу. Но её не довелось прочитать.
По оборудованию могу посоветовать Ю.В. Панфилов Оборудование производства ИМС и промышленные роботы, 1988г.

Все книги, как видно, к сожалению, 25+ летней давности. Но вопросы актуальны и сегодня.

K0nstantin, спасибо большое. Когда у нас еще что-то развивалось в этой области.