Здравствуйте.
Разбираюсь с Sentaurus TCAD 2012.
Пробую делать диод на основе p-n перехода: https://vk.com/doc2272082_323153276?hash=6a...7b8a769437b8604
Все что написано в инструкции получается. Но захотелось поексперементировать.
После нанесения алюминия добавил в конец командного файла строчку:

diffuse time=10 temp=900

А диффузия алюминия в кремний не происходит. Пробовал нагревать до 1200 градусов на протяжении 60 минут - все равно ничего не меняется.
Скажите пожалуйста, почему алюминий не дифундирует в кремний? Что делаю не так?

--
С уважением,
Короткий Женя

А ничего, что уже при 660 алюминий расплавится?

Чтобы посмотреть как алюминий будет диффундировать в кремний его нужно имплантировать, возникнет область p-типа проводимости. Но если нужен контакт, то можно сформировать силицид на основе (Ta, Co, W, Ti, Pt, Mo), металл сначала осадить, а затем отжечь.