Пытаюсь сформировать структуру МОП-транзистора с trench-канавками с помощью приложения Athena в Silvaco TCAD 2016. Возникает ошибка "минимальное значение полигона сетки меньше 0.001 мкм" и дальнейшее моделирование структуры прерывается. Какие пути устранения ошибки посоветуете?
Какими средствами TCAD для оптимизации сетки Вы пользуетесь?

Попробуйте использовать модуль "Victory Process". Сетка, формируемая в этом модуле, имеет заданный пользователем шаг для всех слоев
(поликремний, Si, SiO2 и др.)
и только в местах структурных изгибов уплотняется до заданного значения "множителя уплотнения" - значения параметра resolution команды Init.
Ваша проблема с сеткой должна устраниться при таком подходе.