Надо разработать программируемую линия задержки с диапазоном изменения порядка 100 ps и шагом около 1 ps с приличной линейностью (порядка 1 %), которая должна задерживать 10 ГГц сигнал.

Есть ли у кого-нибудь идеи как это можно сделать?

А нужно именно задержку или можно что-то типа фазовращателя? Какая полоса сигнала? Можно взять два коммутатора SPDT и коммутировать плечи разной длины, получится задержка. 1 ps это 0,3мм если я правильно посчитал. Таких звеньем можно сделать несколько - следующее будет 2 ps, далее 4 и т.д. Можно взять варикап, хотя не уверен, что на 10ГГц его легко будет найти и сделать фазовращатель.

Полоса от 6 до 12 ГГц, фазовращатель не годится из-за нелинейности и частотной зависимости.
В варианте с коммутаторами я не уверен что разница собственныx задержек коммутируемых каналов не будет значительно превышать 1 ps.

Вполне реальная задача. Недавно делал фазовращатель на диапазон 1-2ГГц, сейчас буду делать на диапазон 2-4 ГГц. Дискретность была 5 градусов. На 2ГГц это как я посчитал 7 ps (на 4ГГц будет 3,5 ps). Но там задача была сложнее. Надо было обеспечить требуемый угол (а не задержку) в октавной полосе. В вашем случае можно просто соединить выходы коммутаторов микрополосками разной длины и предусмотреть настроечные места в виде изгибов и в случае необходимости можно лепить туда индий. Хотя, я думаю можно обойтись и без настройки.
Нажмите для просмотра прикрепленного файла