Требуется измерять сопротивления свыше 100 МОм. Точность большая не нужна. АЦП 10 бит.
Кто что-нибудь посоветует по схеме аналоговой части?

Один из вариантов схемы аналоговой части может состоять из источника постоянного напряжения ( в серийных мегаомметрах напряжение на разомкнутых контактах может составлять от 100 до 2500 В и выше...), преобразователя ток - напряжение, АЦП, гальваноразвязки. Измеряемое сопротивление включается между источником напряжения и преобразователем ток-напряжение, на выход преобразователя нагружен АЦП, на выход АЦП - гальваноразвязка. Код на выходе АЦП (теоретически) будет прямопропорционален силе тока в цепи измеряемого сопротивления и обратнопропорционален величине измеряемого сопротивления.

Половина успеха в этом деле лежит в конструктивных элементах. Вплоть до использования стоек на сапфировых, или янтарных, или фторопластовых изоляторах.
Токи утечки по поверхности также вредят сильно. Защита входных цепей от перегрузки просит использования элементов с утечками в пикоамперы. Самый точный метод амперметр-вольтметр. Амперметром может служить преобразователь ток-частота.

Все правильно. Если не сильно торопиться, то интегратор на хорошем ОУ и ХОРОШЕМ конденсаторе с охранным кольцом. 1 вольт на 1 ГОм даст целый наноампер. Если измеряемый резистор далеко, то кабель с двойным экраном. Внутренний экран - к охранному кольцу.

Лучше конечно измерять при помощи источника тока. Схема проверенная, однако сопротивление не должно сидеть одним концом на земле (что не всегда возможно). И еще нужно высокое качество монтажа. Я в схеме ножку 2 ОУ не запаиваю в плату а делаю навесным монтажом или на тефлоновых стойках.