Кто-нибудь имел опыт работы с данной технологией? Если да, то у меня имеется несколко вопросов относительно практической стороны реализации.

А какие у вас возникли проблемы?
Спрашиваю, потому что в "технологии" между DGS и обычными структурами разница небольшая.
Так вы обрабатываете только верхний слой металлизации, а в GDS - оба слоя.

Это не то, чтобы проблема, вопрос по поводу расчёта размеров дефективных структур. В статьях, что я находил, расчитывают эквивалентную LC цепь исходя из полученных S параметров конктерной линиии с дефективной подложкой. Собственно вопрос: как расчитать размеры этих структур на первоначальном этапе или это надо моделировать, пока не получишь то, что хочешь?

Ну это вопрос не по "технологии"
По поводу рассчета...
В первых структуры эти бывают разные (от обычных окружностей и прямоугольников, до резонаторов типа SRR и тд.) и прежде чем рассчитывать их размеры, нужно определиться размеры чего...
есть два подхода анализа:
1. 3Д (или 2,5Д) симулирование, что вродебы логично, но иногда долго.
2. Использование эквивалентных моделей, которые можно найти в статьях по данной тематике и которые обычно очень плохо подгоняются именно под ту структуру, которую вам хочется просчитать
К тому же элементы этих моделей часто находятся путем экстракции из того же 3Д (или 2,5Д) симулирования.
Короче, как у нас говорят, зробiть свiй чойс.