Кто знает, подскажите как померить поверхностное сопротивление изоляции у тефлона и силикона. Существуют ли приборы для измерения сопротивления изоляции порядка экса и пета омов

Думаю, ничего кроме мегометров не найдете. Это сотни мегаом, дальше уже требуется очень высокое напряжение.

Мне кажется, поскольку тефлон и силикон - хорошие изоляторы (их удельные сопротивления легко найти в таблицах), поверхностное сопротивление будет определяться, в основном, загрязнением этой самой поверхности проводящими составами: пылью, влагой, сажей, краской и т.п.
В каждом конкретном случае электропроводность такой поверхности будет, естественно, разной и зависеть от условий. В первую очередь, от чистоты поверхности и влажности среды. Но в последнюю - именно от тефлона или силикона. Так какое они имеют отношение к проблеме? Или Вы что-то другое имеете в виду? Строго говоря, нет такой характеристики диэлектрика или изоляционного материала: "поверхностное сопротивление".
Что конкретно померять надо? Утечки?

Зря думаете. Есть прибор, называется терраометр (Е6-13А), при измерении высоких сопротивлений напряжение на зажимах 100В.
В остальном, согласен с Herz.

Спасибо, буду знать. Ссылочкой на технические характеристики не поделитесь ?
PS. Внутренний голос мне подсказывает, что что-то в этом приборе не чисто (из физических соображений).

А что там нечисто ? Есть операционные усилители с входным током порядка 30 фА (30*10^-15 А), так что при напряжении всего 1 В порог измерителя 30 тераОм. Увеличте напряжение раз сто, вот вам и эксаомы появились. Вот что есть у аналога: Ultralow input-bias current
60 fA maximum (AD549L) ,250 fA maximum (AD549J). Сильно не искал, может есть и меньше токи.

Сопротивление иззоляции меряется при определенном напряжении.Вам необходимо с ним определиться или найти нормативную документацию на измерения сопротивления ваших материалов.Возможно проще будет определять напряжение пробоя.

Прибор достаточно старый, на входе, кажется, лампа.
Описание на работе. Яндекс говорит-

Диапазон измерения спопротивлений:
10 - 10 6 Ом с поддиапазонами 10 2 -3*10 2 - 10 3 - 3*10 3 - 10 4 - 3*10 4 - 10 5 - 3*10 5 и 10 6 Ом
(линейная шкала);
10 6 - 10 14 Ом с поддиапазонами 10 6 -3*10 6 - 10 7 - 3*10 7 - 10 8 - 3*10 8 - 10 9 - 3*10 9 - 10 10
- 3*10 10 -10 11-3*10 11 - 10 12 - 10 18 Ом (обратно пропорциональная шкала).


http://www.priborm.ru/show_good.php?idtov=6152