Добрый день.
Ранее тоже "пробовал" эту задачу для полупроводниковых автоэмиссионных катодов. В то время пытался сделать это в MATLAB. Но оказалось не удобно. Есть ли это в ANSYS? - Сомневаюсь. Влезать в него и делать это изнутри тяжеловато.
Программы"Poisson Superfish" и "HFSS" не знаю. Постараюсь посмотреть.
Конечно удобнее их использовать, если они "заточены" под расчеты движения зарядов в вакууме.
Если интересно попробовать свое теор.описание, можно попытаться что-то из него напрямую вписать в 3D пакете FlexPDE. Там все пишется в математических терминах - есть операторы производных, div, rot. Cм.
http://www.pdesolutions.com/. Там же лежит книга Fields of Physics by Finite Element Analysis - An Introduction, by Gunnar Backstrom - в том числе по расчету переноса зарядов в полупроводниках.
Можно попробовать выжать что-то из COMSOL, отпочковавшегося от MATLAB. Но там та же основа, хотя он и 3D. Все равно диф.уравнения пишутся по имеющимся шаблонам. И сам пакет все-же сыроват, надо его проверять еще чем-то.
Главное, что у меня вызывало трудности, это учет неравномерности выхода электронов по площади катода через потенциальный барьер. Так как она зависит от распределения поля, объемного заряда в вакууме. Т.е. задача должна быть согласована.