подскажите пожалуйста программное обеспечение для разработки свч устройств на основе LTCC

Многие фабрики предлагают библиотеки для Agilent ADS.
А так, можешь выбрать любой 2,5D или 3D симулятор на свой вкус.

Sonnet Suites - http://www.sonnetsoftware.com/products/son.../apps_ltcc.html
можно в MWO моделировать...

Вообще-то, наоборот, это топологию, разработанную в MWO лучше потом в Sonnet моделировать.

Из того, что мы предлагаем для LTCC:

Durst HYDE - нет СВЧ моделирования, вернее нет никакого собственного моделирования.

http://www.eurointech.ru/hyde

AWR Microwave Office - полный набор функций проетирования.

http://www.eurointech.ru/mwo

Sonnet Suite - большей частью EM моделирование.

http://www.eurointech.ru/sonnet

Из того, что мы не поставляем - правтически любой СВЧ продукт, ну и автокад.

насколько я понял, Вы предлагаете рассчитывать каждый слой в MWO (AWR), а потом их собрать воедино в Sonnet?
идея в общем то неплоха, по крайней мере я других вариантов не нашел.
возникает такой вопрос - возможна ли интеграция Sonnet'a с технологическим оборудованием?

Нет я это не предлагаю. Зачем слои рассчитывать отдельно?

Почитайте это.

http://www.eurointech.ru/index.sema?a=pages&id=180

А с технологическим оборудованием любой продукт интегрируется через гербер, GDSII или DXF.