Кто-нибудь работал c программой EMAP5? Какую она обеспечивает точность, производительность по сравнению с другими ЕМ программами? Годится ли она для моделирования планарных структур?

Малость. Производительность плохая. Также весьма сложная система задания геометрии моделируемых объектов. Из впечатлений остался только негатив.