Добрый день, подскажите электронную литературу по изготовлению ИС на русском/английском языках - все что ниже VHDL вплоть(и особенно) до собственно самого процесса промышленного изготовления - фоторезисты, маски, легирование, металлизация, корпусировка.

Для саморазвития. До уровня VHDL/ПЛИС рабочие схемы проектировал уже.

Системное проектирование сверхбольших интегральных схем. Мурога Сабуро.

Не сильно свежо, зато доходчиво и достаточно подробно.

Это двухтомник, интерес представляет тольло первый том.

Первая глава вот этой книги - http://cmosedu.com/cmos1/book.htm - там доходчиво объясняют, как, что и зачем делается в CMOS-технологии. После такого обзорного изучения вопроса всякие там BiCMOS/BCD станут более-менее понятные после элементарного гугления. А вот насчет корпусирования не посоветую.

Первое прочитал, по второму пока только презентации посмотрел, буду дальше искать. В целом нашлись ответы на многие вопросы.

А можно ли где найти описание самих технологий, в том числе с сапфировыми(и прочими не-полупроводниковыми) подложками и транзисторах на стекле? (т.е. сама химия и физика техпроцесса, а не просто "вот маска, вот фоторезист, светим, травим - получаются дырки в SiO2")
(Понятно что 28нм нигде не опишут)

не 100% по предмету, но для начинающих по ASIC.
Ap plication-Spe cific Integ rated Circuits. 1997. M J S Smith.

html версия (ну естественно вопреки всяких IP) здесь http://iroi.seu.edu.cn/books/asics/ASICs.htm#anchor11320
если поискать есть в сети и пдф

Там основное отличие в производстве пластины (кремний на стекле, на сапфире, или классика SOI - кремний-оксид-кремний), а технология по сути та же, только изоляция между отдельных устройств (транзисторов) - оксид насквозь до диэлесктрика.

Посмотрел, по FPGA интересно, о самом низком уровне меньше информации чем то что выше предлагали, видимо сказывается развитие средств автоматизированного проектирования :-)



В этом главный вопрос - как получается тонкий слой монокристаллического кремния :-) Не приклеивают же :-)

В общем интересует вся доступная для простого смертного физика и химия процесса (требования по чистоте/состоянию кристалла, как сильно легируют и как именно, какие фоторезисты применяют, чем проявляют/травят, как фотомаски печатают, описание разных типов литографического оборудования(например интересна оптическая схема проекционной литографической установки)), с теорией разработки все достаточно понятно (т.е. как из нужной схемы получить нужные маски).

Отличная библия начинающего технолога "Технология СБИС" под редакцией С. Зи. Скачать можно здесь

Понравилось в свое время:

Г. Я. Красников
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. В 2 частях.
+

Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев
Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС

Читал в бумажном виде, в электронном не встречал.

Alan Hastings. The atr of analog layout. Немного старовато, зато с без излишеств...

Alan Hastings. The atr of analog layout. в 2006 переиздали.

Hastings -это меньше технология, больше дизайн лэйаута. Первое издание 2001 года- не многое изменилось с того времени.
Автору советую ресурс h**p://avaxhome.ws/, там можно найти несколько книг по технологии ИС.


Нет ли у Вас нового издания в электронном виде? Я был бы очень благодарен.

yxo куда закачать книгу?

Если пришлете мне в почту 3@14.by, залью на свой сервер и выложу прямую ссылку.

это скан, 110mb отсылать?

Даа, такое только на рапиду :-)

http://www.rapidshare.ru/
Если у Вас есть возможность буду очень признателен.

http://www.rapidshare.ru/1418978

большое спасибо!

Апдейт от себя:
Нашел вкусные сборки на rutracker, в сумме 1.5Гб книг:

magnet:?xt=urn:btih:TFRHYWXLN4DDKSCG74DH53IWMOP6S2NT - по разработке цифровых схем в том числе и то что нужно
magnet:?xt=urn:btih:SLK4A7K5DM72RZQWSR3NJZELTYRDMDCB - по FPGA

Nanometer CMOS ICs: from Basics to ASICs, 2008
h__p://avaxhome.ws/ebooks/engeneering_technology/1402083327Nanometer.html

01 Козырь ИЯ - Общая технология.djvu
02 Курносов АИ - Материалы.djvu
03 Горбунов ЮИ - Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы.djvu
04 Никифорова СН - Механическая и химическая обработка.djvu
05 Никифорова-Денисова СН - Термические процессы.djvu
06 Минайчев ВЕ - Нанесение плёнок в вакууме.djvu
07 Моряков ОС - Элионная обработка.djvu
08 Мартынов ВВ - Литографические процессы.djvu
09 Моряков ОС - Сборка.djvu
10 Семёнов ЮГ - Контроль качества.djvu

Размер набора: ~12.5 Мб
Год: 1989

http://depositfiles.com/files/r092hcqmu
или
http://ifolder.ru/19093614


В качестве программы "просмотрщика" можно использовать "WinDjView".

Всё это хлам, но к сожалению современной литературы по технологии, изданной в России, не встречал, что, в общем-то, не мудрено, т. к. все технологии застыли 20 лет назад. Вообще, есть требование к основной литературе по курсу, заключающееся в том, что она должна быть не старше 10 лет для общепрофессиональных дисциплин и 5 лет - для специальных. Для курсов, касающихся технологии это требование неоспоримо, а вот, например, для математики м. б. даже вредно, т. к. ошибок в современных изданиях море, а математика в общем-то такими темпами не меняется. ФормализЬмЬ чинуш неискореним! Поэтому, честно говоря, не знаю как выполняется это требование по технологии ИС, а вот по материаловедению формализм доходит до абсурда. Затем каждый год выдают одни и те же темы дипломов проектов из каменного века, а потом я слышу скепсис в голосе работодателей по поводу адекватности знаний выпускников современному уровню развития, что конечно правильно. Если найдете что-то стоящее из зарубежной литературы последних лет, то лучше почерпнуть что-то из нее, да и поделиться не забудьте!

Отличные книги ) Увидел как делали КТ315, да и вообще много ценного :-)

С точки зрения музейной ценности - да. Кому сейчас нужен Ваш КТ315? То, что до сих пор применяют то, что там описано - это больше наша беда. Максимум, что оттуда можно почерпнуть - принципы технологий, но можно зачитаться чуть глубже и незаметно втемяшить в голову конкретные технологические решения, за которые сейчас могут и просмеять. Технология не стоит на месте (не у нас в стране!). Вот это, конечно, фундаментальный труд и пока, по крайней мере, еще актуален, но скана найти не удалось.

По крайней мере, тут есть конкретные цифры сколько вешать в граммах :-) Лучше знать эти древние и быть просмеяным, чем не знать вообще ничего :-)

В других, современных буржуйских книгах (из того что пока удалось найти) - теория достаточно подробно, описание проблем до 45нм, но конкретных цифр и деталей технологий нет вообще (что впрочем понятно).

Именно это и интересно больше всего - детальное описание техпроцессов с конкретными цифрами.

Так описание технологий есть в Synopsys TCAD программе, и не только описание и моделирование.
И примеров там куча.

Его еще поискать надо :-) И там я так полагаю виден/симулируется как раз результат, а не процесс создания?

Смотри в личку.

2 Losik и yxo - можно попросить залить еще раз ?
эта ссылка к сожалению умерла...

http://www.rapidshare.ru/1685211
pass: electronix