Привет, всем есть у кого нибудь вышеназванные стандарты?

заранее благодарен.

По списку с semi.org нашёл следующие, имеющие "lithography" в названии:

SEMI P35-1106 - Terminology for Microlithography Metrology
SEMI P37-1109 - Specification for Extreme Ultraviolet Lithography Substrates and Blanks
SEMI P38-1103 (Withdrawn 0710) - Specification for Absorbing Film Stacks and Multilayers on Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blanks

К сожалению, гугл молчит по поводу, где можно скачать...