Судя по временным диаграммам в даташите на мегу128, истинная ШИМ с постоянной частотой следования импульсов будет только при 8-битном таймере-счетчике, а при 16-битном получается частотно-импульсная модуляция, то бишь ЧИМ. Или что-то не так, или у Атмела понятие ШИМ более расплывчатое?

Table 61. Waveform Generation Mode Bit Description

5, 6, 7 пункты вроде как-бы старый добрый ШИМ, если что могу оперативно попробовать.

Имеются в виду рисунки 39, 40 (8-бит) и 52-54 (16-бит) в datasheet с изменением Rev.2456M-AVR-11/04

Ага, понял. Но вроде бы они имеют ввиду (в прямоугольничке) что это типа работа ограничения по ICRn или OCRnA в зависимости от выбора. Если критично попробую вечерком.

16-битный ШИМ там честный - сам использовал. Может, на картинках показано изменение частоты на ходу путем перезагрузки регистра?