Добрый день!
Не сталкивался ли кто-нибудь с проектированием ВЧ фикстур и пробников(см. рис.)? Не подскажете статьи или книги на эту тему?
И в каких программных пакетах их лучше проектировать?

Пока нашел только сайты двух фирм занимающихся чем-то подобным:
http://www.se-group.com/icm/index.htm
www.cascademicrotech.com

В свое время у Agilent смотрел контактные устройства для RLC-метров, но в последнем номере КиТ статья про Agilent, где говорится, что в этом отношении они сотрудничают как раз с Cascade Microtech. Так что м. б. и упомянутые устройства не их производства. Насчет других фирм попробую не забыть завтра поинтересоваться, т. к. в свое время таким поиском занимались.

Проектирвать- в CST. Задача ведь трехмерная. С проектированием сталкиваться не приходилось, а вот с ремонтом- да. Горят они как спички при пробое исследуемой структуры мощного транзистора.Трехлапый зонд ценой в килоевро и больше- в хлам сгорает. Много нестандартного там наворочать сложно- микрокабель полужесткий- стандартный, размер контактного пада- тоже. Длина и форма пружин берется по образцу и подобию фирменной. Главное- жесткость пружин подобрать и гальванику для надежного контакта. Неполохо в микропозиционер показометр силы прижима встроить, чтобы прижим выходил с постоянной силой. При смене зондов на самодельные работающим на зондовой станции приходиться переучиваться под новую жесткость контактных падов.
Вот тут еще посмотрите http://www.ggb.com/index.html - там в даташитах неплохо конструкция контакта видна.

А пример такой конструкции в CST или в HFSS можно найти?
И возможно ли вместо CST использовать HFSS?

добавлю, что нашел некоторую информацию в книге Microwave Measurements Edited by R.J. Collier and A.D. Skinner

Готовых проектов нет, но где-то опубликованные результаты моделирования встречал. Главная проблема- неизвестен угол контакта пробы к плате. Чуть от изменился - модель пошла "коту под хвост". Этот угол зависит от усилия прижима и упругости зонда. Т.е приходилось (до появления мультифизики) моделировать в двух моделяторах- в CST (был в наличии) и Abacus (механический моделятор) а для него-долго изобретать модель упругого микрокоаксиального кабеля с оболочкой из бронзовой трубы (для упругости).
Самое противное- непостоянное усилие прижима сводит на нет калибровку по эталонным структурам. Поэтому очень важна повторяемость контакта- одинаковая толщина подложки у эталона и у рабочей структуры, контроль усилия прижатия или контроль угла деформации зонда (например по отраженному лазерному лучу, как в AFM микроскопах). Хотя это все становится важно на десятках ГГц, ниже по частотам оно менее напрягает.

Спросил, всё сводится к Cascade Microtech, поскупали всё. Если что-то нескупленное найдете, сообщите здесь пожалуйста.