Наверное глупый вопрос, но контроллеры с 5 фьюзами я не прошивал.
Описание установленных фьюзов в AVRStudio
Fusebyte0 - 0xFF
Fusebyte1 - 0x00
Fusebyte2 - 0xFE
Fusebyte4 - 0xFE
Fusebyte5 - 0xEB
Запускаю из консоли со следующими параметрами, правильно указаны фьюзы в консольной записи?
jtagiceii.exe -d ATxmega64A3 -e -pf -if -f00FF -F00FF -EFE -GFE -XEEBFE -XVEBFE flash.hex