Доброго времени суток, дамы и господа.

Я хочу использовать стандартный текстолит FR4 с толщиной медного слоя 35 мкм для создания трафаретных масок. Процесс примерно следующий:
1. Фотолитография на меди
2. Травление открытых областей в FeCl3
3. Отделение слоя меди

Проблема с п.3, в частности, требуется отделение медного слоя таким образом, чтобы он не помялся, скрутился т.п. Требуемый размер маски не более 1х1 см2.
Как вариант думаю нагреть образец на плитке, но не уверен, что удастся отделить слой равномерно, избежав деформации. В инете наткнулся на использование сильных растворителей вроде смеси дихлорметана и метанола для стравливания адгезионного слоя между медью и текстолитом.
Есть ли у кого опыт извлечения медных слоёв без привлечения значительных деформаций?

Диметилформамид, желательно горячий.

a фольгу с двух сторон резистом закрыть не судьба ?

Так надо же героически преодолевать, непреодолимые препятствия.

Alligator75,

Задача состоит в изготовлении масок из фольги толщиной 35 мкм (хотелось бы еще тоньше). Если я вас правильно понял, речь идет о работе со "свободной" фольгой (не связанной с более прочным основанием типа текстолита) - это непрактично, т.к. наносить резист крайне неудобно, не говоря уже о самой лито. Поэтому легче сделать на ПП, а потом отсоединить медный слой.

dpss,
спасибо! Этого "добра" хватает. На днях поэкспериментирую.

Диметилсульфоксид не такой вредный.

Спасибо за заботу! У меня вытяжной шкаф, сам работаю в маске, поэтому пока использую диметилформамид, плюс, он есть под рукой.

dpss,
подержал образец 16 часов в ДМФ при T = 70С. Текстолит разбух как печенье в чае , медь вроде начинает отслаиваться, но извлекать плёнку без помощи пинцета или скальпела все еще тяжело . Поставил T=100C, потом попробую слои текстолита отдирать и еще может быть ультразвук...

В общем, задача не такая простая, чувствую, придется все-таки заказывать маску у фирмачей

Так Вы хотите сделать окно с медью вместо стекла и рамой из стеклотекстолита, а потом в меди сделать щели?
А просто латунную или бронзовую фольгу не хотите? Молибден довольно жесткий тоже. Ее тоже можно к рамке припаять.
Можно еще подобрать рамку с малым коэффициентом расширения и припаять к ней фольгу. При остывании фольга натянется.

Tanya,
я хочу сделать трафаретную маску для нанесения металлов на структуры, которые "боятся" литографии. Короче, обычный безлитографический процесс нанесения металла. У буржуинов это называется Shadow mask или Stencil mask.
Взять тонкую фольгу конечно можно, именно так и делают фирмачи.
Но поскольку маска должна содержать дорожки шириной 30-50 мкм, чтобы не было их уширения материал должен быть довольно тонким, т.к медь в FeCl3 травится изотропно. Делать литографию с двух сторон на фольге толщиной 35 мкм и тоньше довольно непросто, сохранив ее планарность (или я не прав?), имея в распоряжении обычное оборудование (а не как по ссылке выше). Планарность нужна чтобы при литографии структуры не "поплыли".


Звучит заманчиво, но пока браться за это не буду.
Я наверное попробую анизотропное травление кремния <100> для создания маски в будущем.

Если медная фольга не свернута в трубочку, то закатать между фоторезистом вполне реально. Нужно взять стекло, тазик с водой, берете первый кусок фоторезиста, хорошо
смачиваете в холодной воде(с отодранным защитным слоем) , ложите на стекло, потом смачиваете фольгу, ложите на резист, потом второй кусок фоторезиста также смачиваете водой и
на фольгу, и аккуратно зактываете резиновым валиком. Потом аккуратно переварачиваете этот бутерброт и опять укатываете валиком. Потом это хозяйство между плотной бумаги и в
ламинатор.

Если сложно с текстолитом, есть другой вариант - аддитивная технология на пластике

Если вы хотите изготовить маску для напыления то для этого сущесвовала своя технология. На достаточно прочную медную или бронзовую фольгу до 0.1мм наносится тонкий слой никеля 10-15 мкм. По никелю фотолитографией травится рисунок, а затем через него протравливается медь. Получается высокоточный и достаточно жесткий трафарет для напыления. Смотри технологии гибридных пленочных схем перида 70-х годов.

в конце наверно еще не хватает фразы. "Легко понять что, все ето, разумеется, нужно делать в синхрофазатроне при давлении 10-12 Па и температуре 10+6С"



и сколько это стоит ?

Вах, какую тему подняли! С той поры много воды утекло. Чего только не перепробовал в итоге, даже анизотропное травление кремния <110> в KOH. Забросил тот проект, ибо требовалось нереальное соотношение ширины отверстий (5-10 мкм) к толщине маски (100 мкм).
Для бОльших структур (отверстия от 200 мкм) сейчас же пользуюсь масками 100мкм стальными, сделаными как раз фотолитографическим методом (уж не знаю, был ли там никель как маска) по заказу в одной английской фирмочке.

А если взять "свободную" фольгу, затем "наклеить" ее на жесткое основание так, чтобы потом легко было снять.
(может быть "приклеить" фольгу на что-то легкоплавкое типа парафина-воска).
Потом вытравить маску и снять ее.

Возможно. Однако же, проще оказалось заказать маски. Есть так же вариант изготовления мелких отверстий лазерной резкой (все та же контора). В общем, тему можно закрыть.