После общения с отечественным (вероятно единственным) производителем фоторезистов, выяснилось, что проявители для ФР у нас делают только на основе щелочных металлов, которые как известно великое зло в микроэлектронике. Зарубежные ФР - рассчитаны на проявление и щелочными и безметаллическими проявителями, т.е. металл-содержащие проявители используют не только у нас.
При этом, сейчас известны и производятся/используются проявители без металлов (на основе TMAH например).
Почему-же тогда до сих используют металл-содержащие проявители? Или загрязнение мобильными ионами не такая фатальная проблема, чтобы из-за неё использовать более дорогой и несколько более опасный TMAH?
Также интересно, почему гидроксид алюминия не используют для этих целей :-)