Да никаких проблем - это все методы формирования требуемой топологии, всё-таки платину просто так не потравишь, а через маску сразу готовая топология. Существуют метод съемной маски, когда металлическую маску плотно прижимают к подложке, и метод контактной маски или метод взрывной фотолитографии. В последнем случае маска формируется напылением, например, алюминия, в котором фотолитографией формируются "окна" через которые уже напыляется необходимый функциональный материал (в данном случае платина) таким образом, чтобы толщина напыленной маски была больше функционального слоя, сформированного после и "проемы" "окон" имели оголенную маску. Далее заготовка помещается в селективный травитель, который стравливает маску (за счет ее оголения в "проемах") и взрывобразно срывает напыленный функциональный слой вместе с собой в местах, где не было "окон" (отсюда одно из названий метода). В этом методе топология может быть более сложной. Наверное Вы именно про этот метод читали.

Ну, а по сути датчик температуры в более сложном датчике потока, если я тот датчик нашел.

Вот пример готового микроэлектронного датчика http://www.npoit.ru/products/reformative-e...at-flux-sensors
В том смысле, что может быть не следует заморачиваться с драгметалллами. Ведь проблема не техническая (ее давно прошли), а учет и обращение драгметаллов.

С технологиями определились, теперь кто бы реализовал задачу в образце... Есть варианты?

Есть пара институтов которые занимаются магнетронными напылителями, но о производстве пока информацию найти не удалось.

Почему тема заглохла? Неужто все забили на напыление платины? Ну люди добрые не Хераусом же единым должна пользоваться промышленность отечественная! И что то не совсем понятно почему товарищ с ником "ledum
" так против гальваники в термодатчиках? Ledum, подскажите пожалуйста почему не получится осадить платину гальванически? В чём будет проблема?

Я не против гальваники платины. Я в какой-то мере против гальваники платины в термодатчиках. Смысл? Для гальваники Вам нужен проводящий подслой, который быстрей всего непредсказуемо исказит платиновый слой как датчик. Конечно, можно нанести проводящий подслой напылением самой платины - но здесь уже имеет смысл ИМХО просто допылить до нужных Ом на квадрат без гальваники. Да и слой платины должен получиться очень тонким, как для гальваники. Была у меня мысль нанести буферный проводник на некий легко растворимый материал-носитель (или просто сразу взять растворимый металл), потом произвести гальванику платины, потом толстой пленкой нанести некий отверждевающий стойкий к растворителям или кислотам диэлектрик. После чего растворить диэлектрик-носитель с буферным подслоем или несущий металл, оставив платину и толстопленочный диэлектрик. Но ИМХО это больше фантазии. Из-за сложности контроля гальванической платины.

Сообщение отредактировал ledum - Aug 20 2013, 11:03