Добрый день, подскажите электронную литературу по изготовлению ИС на русском/английском языках - все что ниже VHDL вплоть(и особенно) до собственно самого процесса промышленного изготовления - фоторезисты, маски, легирование, металлизация, корпусировка.

Для саморазвития. До уровня VHDL/ПЛИС рабочие схемы проектировал уже.

Системное проектирование сверхбольших интегральных схем. Мурога Сабуро.

Не сильно свежо, зато доходчиво и достаточно подробно.

Это двухтомник, интерес представляет тольло первый том.

Первая глава вот этой книги - http://cmosedu.com/cmos1/book.htm - там доходчиво объясняют, как, что и зачем делается в CMOS-технологии. После такого обзорного изучения вопроса всякие там BiCMOS/BCD станут более-менее понятные после элементарного гугления. А вот насчет корпусирования не посоветую.

Первое прочитал, по второму пока только презентации посмотрел, буду дальше искать. В целом нашлись ответы на многие вопросы.

А можно ли где найти описание самих технологий, в том числе с сапфировыми(и прочими не-полупроводниковыми) подложками и транзисторах на стекле? (т.е. сама химия и физика техпроцесса, а не просто "вот маска, вот фоторезист, светим, травим - получаются дырки в SiO2")
(Понятно что 28нм нигде не опишут)

Сообщение отредактировал BarsMonster - Mar 11 2010, 15:05

не 100% по предмету, но для начинающих по ASIC.
Ap plication-Spe cific Integ rated Circuits. 1997. M J S Smith.

html версия (ну естественно вопреки всяких IP) здесь http://iroi.seu.edu.cn/books/asics/ASICs.htm#anchor11320
если поискать есть в сети и пдф

Там основное отличие в производстве пластины (кремний на стекле, на сапфире, или классика SOI - кремний-оксид-кремний), а технология по сути та же, только изоляция между отдельных устройств (транзисторов) - оксид насквозь до диэлесктрика.

Посмотрел, по FPGA интересно, о самом низком уровне меньше информации чем то что выше предлагали, видимо сказывается развитие средств автоматизированного проектирования :-)



В этом главный вопрос - как получается тонкий слой монокристаллического кремния :-) Не приклеивают же :-)

В общем интересует вся доступная для простого смертного физика и химия процесса (требования по чистоте/состоянию кристалла, как сильно легируют и как именно, какие фоторезисты применяют, чем проявляют/травят, как фотомаски печатают, описание разных типов литографического оборудования(например интересна оптическая схема проекционной литографической установки)), с теорией разработки все достаточно понятно (т.е. как из нужной схемы получить нужные маски).

Сообщение отредактировал BarsMonster - Mar 15 2010, 23:09

Отличная библия начинающего технолога "Технология СБИС" под редакцией С. Зи. Скачать можно здесь

Понравилось в свое время:

Г. Я. Красников
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. В 2 частях.
+

Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев
Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС

Читал в бумажном виде, в электронном не встречал.

Alan Hastings. The atr of analog layout. Немного старовато, зато с без излишеств...

Alan Hastings. The atr of analog layout. в 2006 переиздали.

Hastings -это меньше технология, больше дизайн лэйаута. Первое издание 2001 года- не многое изменилось с того времени.
Автору советую ресурс h**p://avaxhome.ws/, там можно найти несколько книг по технологии ИС.


Нет ли у Вас нового издания в электронном виде? Я был бы очень благодарен.

yxo куда закачать книгу?

Если пришлете мне в почту 3@14.by, залью на свой сервер и выложу прямую ссылку.

это скан, 110mb отсылать?

Даа, такое только на рапиду :-)