Доброго времени суток, дамы и господа.

Я хочу использовать стандартный текстолит FR4 с толщиной медного слоя 35 мкм для создания трафаретных масок. Процесс примерно следующий:
1. Фотолитография на меди
2. Травление открытых областей в FeCl3
3. Отделение слоя меди

Проблема с п.3, в частности, требуется отделение медного слоя таким образом, чтобы он не помялся, скрутился т.п. Требуемый размер маски не более 1х1 см2.
Как вариант думаю нагреть образец на плитке, но не уверен, что удастся отделить слой равномерно, избежав деформации. В инете наткнулся на использование сильных растворителей вроде смеси дихлорметана и метанола для стравливания адгезионного слоя между медью и текстолитом.
Есть ли у кого опыт извлечения медных слоёв без привлечения значительных деформаций?