|
Добрый день. Есть пара вопросов. Изучая топологию и спецификацию зарубежной тестовой матрицы для характеризации технологического процесса, обнаружил в ней ряд статистических тестов. Например, десятки тысяч цепочек контактов, тесты на обрывы и закоротки. С этим все понятно. Но в этой же группе (статистической) были непонятные для меня тесты, которые может быть кто-то пояснит. Есть группа Multi Inverter (это 4 теста с изменяющимися ширинами транзисторов в интверторе, первая ширина для NМОП, вторая для РМОП 0,5/0,5 0,5/1 1/1 1/2, таких инверторов около 1000, все включены в параллель, на площадки выведены земля/питание + вход (затвор) + выход), группа Multi NMOS, Multi PMOS (это много маленьких транзисторчиков в параллель), 8 Ring Oscillator, 1 сдвиговый регистр на триггерах. Суть вопроса такова: как правильно измерять такие тесты? какой параметр? И что здесь можно оценить/отбраковать? Ведь, скажем, в мультиинверторе отказ одного инвертора трудно заметить, а тест статистический, значит именно по сути отказ одного мы и ищем. Может быть есть ссылка на литературу, где про это можно почитать. Может быть цифровики что-то подскажут )) (упомянутые выше кольцевые генераторы для проверки качества SPICE-моделей интересуют чуть-чуть в меньшей степени)
И еще более общий вопрос. Может кто-то владеет полноценным списком тестов тестовой матрицы какой-нибудь зарубежной фабрики, которую запускают при постановке\характеризации технологического процесса ? Или gds самой матрицы. Интересна любая информация подобного рода.
Заранее спасибо.
|
Тесты для характеризации технологического процесса
Jul 23 2014, 15:09
