реклама на сайте
подробности

 
 
> Пассивация нитридом кремния, Диапазон толщин пассивирующего покрытия
Димыч
сообщение Sep 3 2014, 10:10
Сообщение #1


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 156
Регистрация: 1-02-05
Из: the Earth
Пользователь №: 2 331



Добрый день,

знающие, подскажите, пожалуйста, какие толщины пассиввации (Si3N4) могут обеспечить производители в стандартном техпроцессе и без значительного удорожания?
Поцесс CMOS 0,6мкм.

Сейчас нам делают прибор с толщиной пассивации 600 нм. По определённым причинам актуально увеличить эту толщину.

спасибо!
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 
Start new topic
Ответов (1 - 3)
TiNat
сообщение Sep 10 2014, 18:38
Сообщение #2


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 100
Регистрация: 15-09-12
Пользователь №: 73 555



Не думаю, что для производств существуют большие сложности увеличить толщину пассивации. У нас для 0,6 мкм КМОП процесса толщина Si3N4 равна 1мкм +(-)0,05 мкм.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
Димыч
сообщение Sep 11 2014, 16:12
Сообщение #3


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 156
Регистрация: 1-02-05
Из: the Earth
Пользователь №: 2 331



Спасибо!
А вот подумалось, что не так легко изменить в рамках стандартного техпроцесса.
Ведь это не только время пассивации, например. Но и последующая операция травления для вскрытия контактных площадок... Дороговато встанет такая перенастройка из-за желания одного потребителя.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
TiNat
сообщение Sep 11 2014, 20:28
Сообщение #4


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 100
Регистрация: 15-09-12
Пользователь №: 73 555



Не всегда, но часто, у производителей есть выбор по какому маршруту проводить операцию. Это означает, например, что отработан блок операций, позволяющих наносить/травить толщину пассивации 0,6мкм, 1 мкм, 2 мкм и т.д. Это выражается в присвоении операции определенного кода и, человек, отвечающий за создание полного маршрута изготовления (технолог), может выбрать из имеющихся кодов необходимый (по сути по желанию заказчика). Поэтому Вам проще спросить готовые отработанные режимы на фабрике, где планируется производство. С большой долей вероятности увеличение толщины пассивации в разумных (заранее известных) пределах - не проблематично.
Go to the top of the page
 
+Quote Post

Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 


RSS Текстовая версия Сейчас: 24th July 2025 - 15:49
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01382 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016