| |
 Подскажите литературу по технологиям изготовления ИС |
|
|
2 страниц 
1 2 >
|
 |
Ответов
(1 - 29)
|
|
 Mar 11 2010, 15:03
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
|
Первое прочитал, по второму пока только презентации посмотрел, буду дальше искать. В целом нашлись ответы на многие вопросы.
А можно ли где найти описание самих технологий, в том числе с сапфировыми(и прочими не-полупроводниковыми) подложками и транзисторах на стекле? (т.е. сама химия и физика техпроцесса, а не просто "вот маска, вот фоторезист, светим, травим - получаются дырки в SiO2")
(Понятно что 28нм нигде не опишут)
Сообщение отредактировал BarsMonster - Mar 11 2010, 15:05
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Mar 15 2010, 23:09
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
|
Цитата(CaPpuCcino @ Mar 13 2010, 23:06)  не 100% по предмету, но для начинающих по ASIC. Ap plication-Spe cific Integ rated Circuits. 1997. M J S Smith. html версия (ну естественно вопреки всяких IP) здесь http://iroi.seu.edu.cn/books/asics/ASICs.htm#anchor11320если поискать есть в сети и пдф Посмотрел, по FPGA интересно, о самом низком уровне меньше информации чем то что выше предлагали, видимо сказывается развитие средств автоматизированного проектирования :-) Цитата(SM @ Mar 15 2010, 00:13) Там основное отличие в производстве пластины (кремний на стекле, на сапфире, или классика SOI - кремний-оксид-кремний), а технология по сути та же, только изоляция между отдельных устройств (транзисторов) - оксид насквозь до диэлесктрика. В этом главный вопрос - как получается тонкий слой монокристаллического кремния :-) Не приклеивают же :-) В общем интересует вся доступная для простого смертного физика и химия процесса (требования по чистоте/состоянию кристалла, как сильно легируют и как именно, какие фоторезисты применяют, чем проявляют/травят, как фотомаски печатают, описание разных типов литографического оборудования(например интересна оптическая схема проекционной литографической установки)), с теорией разработки все достаточно понятно (т.е. как из нужной схемы получить нужные маски).
Сообщение отредактировал BarsMonster - Mar 15 2010, 23:09
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Mar 18 2010, 11:47
|
Группа: Участник
Сообщений: 8
Регистрация: 12-01-10
Пользователь №: 54 755
|
Отличная библия начинающего технолога "Технология СБИС" под редакцией С. Зи. Скачать можно здесь
|
|
|
|
|
|
|
|
Mar 18 2010, 12:51
|
Группа: Участник
Сообщений: 8
Регистрация: 20-02-06
Пользователь №: 14 524
|
Понравилось в свое время:
Г. Я. Красников
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. В 2 частях.
+
Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев
Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС
Читал в бумажном виде, в электронном не встречал.
Alan Hastings. The atr of analog layout. Немного старовато, зато с без излишеств...
|
|
|
|
|
|
|
|
Mar 19 2010, 06:33
|
Частый гость
Группа: Участник
Сообщений: 93
Регистрация: 18-08-06
Из: Москва
Пользователь №: 19 651
|
Hastings -это меньше технология, больше дизайн лэйаута. Первое издание 2001 года- не многое изменилось с того времени. Автору советую ресурс h**p://avaxhome.ws/, там можно найти несколько книг по технологии ИС. Цитата(Losik @ Mar 18 2010, 17:51) Alan Hastings. The atr of analog layout. в 2006 переиздали. Нет ли у Вас нового издания в электронном виде? Я был бы очень благодарен.
--------------------
"Сначала идет мысль, фантазия, сказка... за ней следует инженерный расчет и уже в конце концов исполнение венчает мысль" (Э.Циолковский)
|
|
|
|
|
|
|
|
Mar 21 2010, 21:04
|
Частый гость
Группа: Участник
Сообщений: 93
Регистрация: 18-08-06
Из: Москва
Пользователь №: 19 651
|
Цитата(Losik @ Mar 20 2010, 22:47) большое спасибо!
--------------------
"Сначала идет мысль, фантазия, сказка... за ней следует инженерный расчет и уже в конце концов исполнение венчает мысль" (Э.Циолковский)
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 1 2010, 17:13
|
Группа: Новичок
Сообщений: 5
Регистрация: 30-01-05
Из: Санкт Петербург
Пользователь №: 2 293
|
01 Козырь ИЯ - Общая технология.djvu 02 Курносов АИ - Материалы.djvu 03 Горбунов ЮИ - Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы.djvu 04 Никифорова СН - Механическая и химическая обработка.djvu 05 Никифорова-Денисова СН - Термические процессы.djvu 06 Минайчев ВЕ - Нанесение плёнок в вакууме.djvu 07 Моряков ОС - Элионная обработка.djvu 08 Мартынов ВВ - Литографические процессы.djvu 09 Моряков ОС - Сборка.djvu 10 Семёнов ЮГ - Контроль качества.djvu Размер набора: ~12.5 Мб Год: 1989 http://depositfiles.com/files/r092hcqmuили http://ifolder.ru/19093614В качестве программы "просмотрщика" можно использовать "WinDjView".
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 1 2010, 17:54
|
Гуру
Группа: Свой
Сообщений: 3 218
Регистрация: 14-11-06
Из: Н. Новгород
Пользователь №: 22 312
|
Цитата(Helg @ Sep 1 2010, 21:13) 01 Козырь ИЯ - Общая технология.djvu
...........
10 Семёнов ЮГ - Контроль качества.djvu
Год: 1989 Всё это хлам, но к сожалению современной литературы по технологии, изданной в России, не встречал, что, в общем-то, не мудрено, т. к. все технологии застыли 20 лет назад. Вообще, есть требование к основной литературе по курсу, заключающееся в том, что она должна быть не старше 10 лет для общепрофессиональных дисциплин и 5 лет - для специальных. Для курсов, касающихся технологии это требование неоспоримо, а вот, например, для математики м. б. даже вредно, т. к. ошибок в современных изданиях море, а математика в общем-то такими темпами не меняется. ФормализЬмЬ чинуш неискореним! Поэтому, честно говоря, не знаю как выполняется это требование по технологии ИС, а вот по материаловедению формализм доходит до абсурда. Затем каждый год выдают одни и те же темы дипломов проектов из каменного века, а потом я слышу скепсис в голосе работодателей по поводу адекватности знаний выпускников современному уровню развития, что конечно правильно. Если найдете что-то стоящее из зарубежной литературы последних лет, то лучше почерпнуть что-то из нее, да и поделиться не забудьте! 
--------------------
Все не могут только сеять разумное, доброе, вечное: кому-то надо и пахать!
Природа не терпит пустоты: там, где люди не знают правды, они заполняют пробелы домыслом. © Бернард Шоу
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 1 2010, 19:27
|
Гуру
Группа: Свой
Сообщений: 3 218
Регистрация: 14-11-06
Из: Н. Новгород
Пользователь №: 22 312
|
Цитата(BarsMonster @ Sep 1 2010, 22:55) Отличные книги ) Увидел как делали КТ315, да и вообще много ценного :-) С точки зрения музейной ценности - да. Кому сейчас нужен Ваш КТ315? То, что до сих пор применяют то, что там описано - это больше наша беда. Максимум, что оттуда можно почерпнуть - принципы технологий, но можно зачитаться чуть глубже и незаметно втемяшить в голову конкретные технологические решения, за которые сейчас могут и просмеять. Технология не стоит на месте (не у нас в стране!). Вот это, конечно, фундаментальный труд и пока, по крайней мере, еще актуален, но скана найти не удалось.
--------------------
Все не могут только сеять разумное, доброе, вечное: кому-то надо и пахать!
Природа не терпит пустоты: там, где люди не знают правды, они заполняют пробелы домыслом. © Бернард Шоу
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 1 2010, 22:30
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
|
Цитата(EUrry @ Sep 1 2010, 21:27) С точки зрения музейной ценности - да. Кому сейчас нужен Ваш КТ315? То, что до сих пор применяют то, что там описано - это больше наша беда. Максимум, что оттуда можно почерпнуть - принципы технологий, но можно зачитаться чуть глубже и незаметно втемяшить в голову конкретные технологические решения, за которые сейчас могут и просмеять. Технология не стоит на месте (не у нас в стране!). Вот это, конечно, фундаментальный труд и пока, по крайней мере, еще актуален, но скана найти не удалось. По крайней мере, тут есть конкретные цифры сколько вешать в граммах :-) Лучше знать эти древние и быть просмеяным, чем не знать вообще ничего :-) В других, современных буржуйских книгах (из того что пока удалось найти) - теория достаточно подробно, описание проблем до 45нм, но конкретных цифр и деталей технологий нет вообще (что впрочем понятно). Именно это и интересно больше всего - детальное описание техпроцессов с конкретными цифрами.
Сообщение отредактировал BarsMonster - Sep 1 2010, 23:08
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 2 2010, 10:31
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(BarsMonster @ Sep 2 2010, 02:30) По крайней мере, тут есть конкретные цифры сколько вешать в граммах :-) Лучше знать эти древние и быть просмеяным, чем не знать вообще ничего :-)
В других, современных буржуйских книгах (из того что пока удалось найти) - теория достаточно подробно, описание проблем до 45нм, но конкретных цифр и деталей технологий нет вообще (что впрочем понятно).
Именно это и интересно больше всего - детальное описание техпроцессов с конкретными цифрами. Так описание технологий есть в Synopsys TCAD программе, и не только описание и моделирование. И примеров там куча.
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 3 2010, 17:13
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(BarsMonster @ Sep 2 2010, 22:17) Его еще поискать надо :-) И там я так полагаю виден/симулируется как раз результат, а не процесс создания? Смотри в личку.
--------------------
|
|
|
|
|
|
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0
|
|
|
