реклама на сайте
подробности
 
 Wiki Wiki  Photo Photo  Forum Forum  Reviews Reviews  Help (!) Help (!)
 
> стандарты SEMI для моделирования литографии
R1kky
сообщение Oct 20 2010, 12:36
Сообщение #1


Участник
*

Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
Привет, всем есть у кого нибудь вышеназванные стандарты?

заранее благодарен.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 
 Start new topic
Ответов (1 - 1)
aht
сообщение Dec 17 2010, 09:30
Сообщение #2


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 96
Регистрация: 11-01-10
Из: Moscow
Пользователь №: 54 725
По списку с semi.org нашёл следующие, имеющие "lithography" в названии:

SEMI P35-1106 - Terminology for Microlithography Metrology
SEMI P37-1109 - Specification for Extreme Ultraviolet Lithography Substrates and Blanks
SEMI P38-1103 (Withdrawn 0710) - Specification for Absorbing Film Stacks and Multilayers on Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blanks

К сожалению, гугл молчит по поводу, где можно скачать...
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 

Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 

RSS Текстовая версия Сейчас: 21st July 2025 - 16:25
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01316 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016