Поздновато, но добавлю.
Тонкие резистивные пленки наносятся методом вакуумного напыления. Технологически заморочная штука, делает всего несколько контор в СПб, Москве и Минске, и ценник заряжается приличный. Более-менее приемлемые срок-цена назначает Феррит-Квазар в СПб, однако, на опытные партии идут не очень охотно ввиду загруженности производства. При необходимости могу дать контакты фирм (надо искать).
Сразу говорю, что PTFE- и смолосодержащие материалы непригодны для данной технологии по причине того, что не выдерживают необходимые температурные режимы. Мы пылили 50- и 100-омные резисторы на подложках из ситалла и кварцевого стекла.
Бывает, что производитель осуществляет подстройку номинала путем лазерной резки, что недопустимо на СВЧ - необходимо сразу договариваться о том, чтобы подгонка осуществлялась травлением слоя резистива по всей его площади.
В целом выручают SMD-компоненты специально изготовленные по тонкопленочной технологии при небольшой их доработке (спиливании лишней металлизации на торцах для уменьшения неоднородностей), однако, на очень высоких частотах (десятки ГГц), конечно, напыление ведет себя лучше.
--------------------
Все знают, чем отличаются американский, еврейский и русский форумы. Просьба придерживаться стилистики первого.
|