Ansoft, Coventor, may be Comsol ?, Моделирование MEMS устройств Опции

[HFSS]

Уважаемые коллеги!
Хотелось бы отбсудить возможность моделирования MEMS устройств. Перево наперво у кого в каком совте есть опыт в этом направлении? А может есть накопившиеся мысли? Интересует любая инфа!
Думаю использовать линейку Ansoft/Ansys.
HFSS - собственно использовать по прямому назначению (S параметры и тд)
Maxwell - определение сил
Q3D - определение зарадов
далее Ansys Mechanical (тепло, деформация)
Смутно себе представляю как всё это завязать.
Какие будут предложения?

[HFSS]

вот такое http://www.dowkey.com/product/2/rf_switche...e_401y_2311.php интерес вызывает
хотелось бы своё изобрести

[tduty5]

вот такое http://www.dowkey.com/product/2/rf_switche...e_401y_2311.php интерес вызывает хотелось бы своё изобрести

Да какое же оно мемс, это релюшка обыкновенная. Два соленоида толкают полосковые контакты. Можно накупить на ебее разных по 10$ и разбираться с конструкцией. Я такие 8-контактные курочил. СВЧ часть красиво сделана, тоненько. Но это совершенно не мемс.

[HFSS]

Да какое же оно мемс, это релюшка обыкновенная. Два соленоида толкают полосковые контакты. Можно накупить на ебее разных по 10$ и разбираться с конструкцией. Я такие 8-контактные курочил. СВЧ часть красиво сделана, тоненько. Но это совершенно не мемс.

зря вы так. Это как раз таки и есть RF MEMS, вернее одно из направлений. Что собственно в книжках умных и написано. Ну да ладно...
Покупать покупали - курочить мне ничего не дали(
Поделитесь лучше фоками внутреннего устройства, раз уж курочили и всё собственными глазами видели.

[tduty5]

...RF MEMS, вернее одно из направлений...Поделитесь лучше фоками внутреннего устройства...

Пусть будет мемс. Фоток нет, все делалось спешно. Грешили на мусор в контактных группах и на подгоревшие обмотки соленоидов. Проблема оказалась не в реле, а в управлении. А так вещицы очень приятные. У нас до 20 ГГц, SMA,( Dowkey Microvawe и Dynatech), SP6T, SP8T. Развязка 60-70 дБ, потери - доли дБ. Минус - это большое потребление и время переключения, с простыми драйверами около 70 мс.
По моделированию в СВЧ САПР налицо две задачи - on и off. Или хотите исследовать переходные процессы? А они есть - когда выбирали режимы драйвера, то наблюдали влияние на сигнал механических резонансов, плюс индуктивность соленоида и влияние тока управления. Но, я полагаю, такие электромеханические задачки уже решались для НЧ релюшек.