Уважаемые коллеги!
Хотелось бы отбсудить возможность моделирования MEMS устройств. Перево наперво у кого в каком совте есть опыт в этом направлении? А может есть накопившиеся мысли? Интересует любая инфа!
Думаю использовать линейку Ansoft/Ansys.
HFSS - собственно использовать по прямому назначению (S параметры и тд)
Maxwell - определение сил
Q3D - определение зарадов
далее Ansys Mechanical (тепло, деформация)
Смутно себе представляю как всё это завязать.
Какие будут предложения?

мемсы бывают разные.

интересуют RF MEMS

вот такое http://www.dowkey.com/product/2/rf_switche...e_401y_2311.php интерес вызывает
хотелось бы своё изобрести

Да какое же оно мемс, это релюшка обыкновенная. Два соленоида толкают полосковые контакты. Можно накупить на ебее разных по 10$ и разбираться с конструкцией. Я такие 8-контактные курочил. СВЧ часть красиво сделана, тоненько. Но это совершенно не мемс.

зря вы так. Это как раз таки и есть RF MEMS, вернее одно из направлений. Что собственно в книжках умных и написано. Ну да ладно...
Покупать покупали - курочить мне ничего не дали(
Поделитесь лучше фоками внутреннего устройства, раз уж курочили и всё собственными глазами видели.

В 1984-85гг один из ребят нашей кафедры делал диплом на КНИИРИА при объединении им. Королева (Меридиан - анализаторы спектра, генераторы и частотомеры) как раз по таким MEMS. Селективным подтравливанием изолятора между медными напылениями. Получили такие себе результаты. Что-то 30дБ развязки и 1дБ потерь при включенном состоянии на 1ГГц. Тогда руководство дало команду прекратить фигней маяться - на p-i-n диодах получалось и больше/меньше развязки с потерями и пошустрее, плюс включение получалось при 50-100В управления. У них были трех- и двухвыводные варианты, последний с байес ти и емкостной связью во включенном состоянии - т.е. без передачи по постоянке. Само собой MEMS-ами такие коммутаторы тогда не назывались. Парнишка был жестоким троишником в своей теме ни в зуб ногой и лишь уже на защите диплома с трудом все хором разобрались, что там электростатика используется для притяжения. Более того, на чертеже забыл диэлектрик нарисовать. Мы долго не могли понять как он слоем хрома (использовался для улучшения адгезии на самом деле) изолирует слои меди.

Пусть будет мемс. Фоток нет, все делалось спешно. Грешили на мусор в контактных группах и на подгоревшие обмотки соленоидов. Проблема оказалась не в реле, а в управлении. А так вещицы очень приятные. У нас до 20 ГГц, SMA,( Dowkey Microvawe и Dynatech), SP6T, SP8T. Развязка 60-70 дБ, потери - доли дБ. Минус - это большое потребление и время переключения, с простыми драйверами около 70 мс.
По моделированию в СВЧ САПР налицо две задачи - on и off. Или хотите исследовать переходные процессы? А они есть - когда выбирали режимы драйвера, то наблюдали влияние на сигнал механических резонансов, плюс индуктивность соленоида и влияние тока управления. Но, я полагаю, такие электромеханические задачки уже решались для НЧ релюшек.