Напыление платины на керамику, Кто сталкивался Опции

[LexaryStyle]

Приветствую, требуется изучить вопрос и изготовить прототип.

Задача. Напыление слоя платины на керамику с последующим травлением рисунка.

Вопросы по этапам:
1. Тонкости процесса напыления, травления методом фотолитографии на керамике?
2. Какую выбрать керамическую подложку толщиной 0,2-0,3мм с минимальной Теплопроводностью?
3. Нанесение защитного покрытия.
4. Последующая резка заготовок? (размером ~ 5 x 15mm)
5. Где в России такую работу можно заказать?



Сообщение отредактировал LexaryStyle - Sep 13 2012, 11:20

[EUrry]

Датчики температуры? Наверное немаловажный фактор соотношение ТКЛР пленки Pt и подложки. Теплопроводность меньше у алюмооксидной керамики - чем меньше содержание оксида алюминия, тем меньше теплопроводность. У поликора (до 99,9 %) наивысшая теплопроводность. Керамика, применяемая в толстопленочной технологии содержит 94-96 % окиси алюминия и теплопроводность ее ниже, но опять же нужно учитывать другие параметры, такие как, например, требуемая чистота поверхности (точно не могу сказать, но либо отполировать последнюю невозможно из=за вязкости, либо просто не делают, т. к. для толстопленочной технологии это не нужно).

2 MadGarry: Во первых, не нитрит, а нитрид, а во-вторых, наверное всё-таки нитрид бора, а не бария, либо я что-то не знал до сих пор. Поправьте, если не прав.

[MadGarry]

2 MadGarry: Во первых, не нитрит, а нитрид, а во-вторых, наверное всё-таки нитрид бора, а не бария, либо я что-то не знал до сих пор. Поправьте, если не прав.

Да, Вы правы, я здесь ошибся дважды. Конечно же нитрид алюминия и оксид бериллия.
http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9D%D0%B8%...%BD%D0%B8%D1%8F

[EUrry]

Да, Вы правы, я здесь ошибся дважды. Конечно же нитрид алюминия и оксид бериллия.

Да, конечно, BeO - классика, но постепенно от нее отказываются в связи с токсичностью, хотя в миловских приложениях некоторые компании до сих пор используют его. А нитрид бора это скорее эксклюзив, который я встречал только, как упоминание.