Напыление платины на керамику, Кто сталкивался Опции

[LexaryStyle]

Приветствую, требуется изучить вопрос и изготовить прототип.

Задача. Напыление слоя платины на керамику с последующим травлением рисунка.

Вопросы по этапам:
1. Тонкости процесса напыления, травления методом фотолитографии на керамике?
2. Какую выбрать керамическую подложку толщиной 0,2-0,3мм с минимальной Теплопроводностью?
3. Нанесение защитного покрытия.
4. Последующая резка заготовок? (размером ~ 5 x 15mm)
5. Где в России такую работу можно заказать?



Сообщение отредактировал LexaryStyle - Sep 13 2012, 11:20

[ledum]

Задача. Напыление слоя платины на керамику с последующим травлением рисунка.

Честно скажу, напылением платины никогда не занимался. Добычей из деталюшек - было дело.
Но. По нанесению тонких пленок платины http://ntrs.nasa.gov/archive/nasa/casi.ntr..._2005060978.pdf - там еще весьма солидный список литературы. Где делать - там где вдруг остались нормальные технологи и магнетронное распыление. 100% там есть и порезка - либо лазер, либо скрайбирование и разломка.
Очень странное требование по минимальной теплопроводности. Вам что, нужен градиент температуры? Обычно его пытаются избежать как раз на измерительных пленках. При Ваших размерах с большой вероятностью, как ни крути, у пленки будет та же температура, что и у подложки. Самыми теплыми на ощупь, а значит самой фиговой теплопроводностью обладали подложки из ситалла СТ-32-1 ТХ0.781.004ТУ (молочно-светло-бежевые такие) еще слышал о существовании подложек из кварца плавленного С5-1 ТХ0.781.005ТУ, но никогда вживую не видел. Теплопроводность та же, что и у ситалла - раз в 30 хуже поликора, т.е. никакая.