Антенный эффект в КМОП-технологии, Нужна помощь по опредению критериев антенны Опции

[TiNat]

Добрый день. Нужна помощь опытных специалистов. Столкнулись с вопросами антенного эффекта (ANTENNA RULES). Необходимо подобрать критерий, по которому определять - является ли данная шина металла\ПКК антенной для подключенного подзатворного окисла. В зарубежных фабриках\PDK обычно стоит цифра 100, 200, на некоторых бывает и более. Может кто-нибудь знает, по каким методикам выбирается данное соотношение? Какие тесты необходимо разработать? Как их правильно измерять? Понятно, что тут необходимы статистические методы. Наше понимание ограничено тем, что необходимо разработать тесты с разным периметром подключенных шин. Но далее? Отбраковывать нужно по проценту пробитых подзатворных? либо по количественному ухудшению времязависимого пробоя до какой-то степени? Может кто-нибудь сталкивался в современной литературе с таким вопросом? Тогда был бы благодарен за ссылочку. Спасибо.

[Jurenja]

Специалистом в технологии изготовления не являюсь, всего лишь дизайнер, поэтому все что ниже - имхо.
1. Отношение площадей и/или периметров шин межсоединений и подзатворного диэлектрика должно обеспечивать почти стопроцентную вероятность целостности подзатворного диэлектрика: факторов снижения процента выхода годных и так предостаточно, а "антенные" проблемы очень легко решаются конструктивно.
2. Численное значение этого отношения очень зависит от технологических особенностей каждой из фабрик, поэтому и цифры у всех очень разные. Не исключаю также, что разные фабрики могут перестраховываться в разной степени.
3. Тесты для определения очевидны - фрагменты схем с разными отношениями, которые после изготовления обмеряются по каким-либо критериям, например на предмет величины тока утечки затвора.