реклама на сайте
подробности

 
 
> Антенный эффект в КМОП-технологии, Нужна помощь по опредению критериев антенны
TiNat
сообщение Jan 10 2013, 17:45
Сообщение #1


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 100
Регистрация: 15-09-12
Пользователь №: 73 555



Добрый день. Нужна помощь опытных специалистов. Столкнулись с вопросами антенного эффекта (ANTENNA RULES). Необходимо подобрать критерий, по которому определять - является ли данная шина металла\ПКК антенной для подключенного подзатворного окисла. В зарубежных фабриках\PDK обычно стоит цифра 100, 200, на некоторых бывает и более. Может кто-нибудь знает, по каким методикам выбирается данное соотношение? Какие тесты необходимо разработать? Как их правильно измерять? Понятно, что тут необходимы статистические методы. Наше понимание ограничено тем, что необходимо разработать тесты с разным периметром подключенных шин. Но далее? Отбраковывать нужно по проценту пробитых подзатворных? либо по количественному ухудшению времязависимого пробоя до какой-то степени? Может кто-нибудь сталкивался в современной литературе с таким вопросом? Тогда был бы благодарен за ссылочку. Спасибо.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 
Start new topic
Ответов
SM
сообщение Jan 12 2013, 10:15
Сообщение #2


Гуру
******

Группа: Свой
Сообщений: 7 946
Регистрация: 25-02-05
Из: Moscow, Russia
Пользователь №: 2 881



Если я правильно понимаю вопрос, то попробую сослаться на:

Liang M, Chang C, Yeow Y, Hu C and Brodersen R 1984
MOSFET degradation due to stressing of thin oxide
IEEE Trans. Electron Devices 31 1238–44

Shin H.C.,. Hu C.
Thin gate oxide damage due to plasma processing
Semicond. Sci. Technol. 11 (1996) 463–473.

Они вроде ссылаются на то, что основная деградация касается подпороговой крутизны характеристики, порогового напряжения и мобильности носителей. Первые два, по крайней мере, легко измеряемы, и несложно оценить деградацию этих параметров в сравнении транзисторов, не подключенных затворами к значительным "антенным" структурам и подключенных.

P.S. Я даже близко не технолог, я этим лишь интересовался при разработке аналоговых блоков на готовой технологии, чтобы понять, что подкрутить в моделях для оценки худшего случая воздействия антенного эффекта на полевик в пределах допустимых по antenna rules отношений площадей. Так что "пальцем в небо", но может чем поможет...
Go to the top of the page
 
+Quote Post



Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 


RSS Текстовая версия Сейчас: 20th August 2025 - 23:46
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01367 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016