Антенный эффект в КМОП-технологии, Нужна помощь по опредению критериев антенны Опции

[TiNat]

Добрый день. Нужна помощь опытных специалистов. Столкнулись с вопросами антенного эффекта (ANTENNA RULES). Необходимо подобрать критерий, по которому определять - является ли данная шина металла\ПКК антенной для подключенного подзатворного окисла. В зарубежных фабриках\PDK обычно стоит цифра 100, 200, на некоторых бывает и более. Может кто-нибудь знает, по каким методикам выбирается данное соотношение? Какие тесты необходимо разработать? Как их правильно измерять? Понятно, что тут необходимы статистические методы. Наше понимание ограничено тем, что необходимо разработать тесты с разным периметром подключенных шин. Но далее? Отбраковывать нужно по проценту пробитых подзатворных? либо по количественному ухудшению времязависимого пробоя до какой-то степени? Может кто-нибудь сталкивался в современной литературе с таким вопросом? Тогда был бы благодарен за ссылочку. Спасибо.

[alexxaxa]

Все продвинутые фабрики используют для квалификации своего
технологического процесса JEDEC STANDARD.
В частности наиболее информативным является JEDEC стандарт
JP001 FOUNDRY PROCESS QUALIFICATION GUIDELINES (Wafer Fabrication Manufacturing Sites).
По вашему вопросу смотрите в нем например таблицу 10.3.1 P2ID test requirements, где есть
Reference procedure, Test parameters, Test structures и так далее.
Так что всегда начинайте раскручивать вопрос со стандартов.