Направленный ответвитель на 2 мм, технология Опции

[rf_pcb]

Посчитал направленный ответвитель на 2 мм. Начертил эскиз.
Возникло много вопросов как делать переходные отверстия диаметром 0,3 - 0,7 мм с точностью +- 10 мкм?!
Последняя надежда на специалистов любимого форума.

[krux]

в любом случае нужно позиционирование при помощи лазерной интерферометрии - другие способы не дадут такой точности, ни тем более такой повторяемости.

и кстати вот: http://www.himt.de/files/Factsheet%20Downl...20DWL%2066+.pdf

[khach]

в любом случае нужно позиционирование при помощи лазерной интерферометрии - другие способы не дадут такой точности, ни тем более такой повторяемости.

Зачем? 5 мкм точность (как на чертежах) обычный металлографический микроскоп обеспечивает. Это же не обрабатывающий станок- нагрузок особых нет. Поверять можно размерными плитками 0 класса. Там больше проблем будет из за неравномерной толщины заготовки.
Раньше такие диафрагмы травили, но из за толщины надо учитывать подтравы, а маску приходилось делать с одной стороны, т.к с совмещением проблемы могут быть. Поэтому отверстия получались конусные- надо учитывать при моделировании делителя или корректировать по результатам измерений.
Ктати, на рисунке очень странно расположены отверстия под штифты позиционирования- всегда старались расположить их по диагонали максимального размера заготовки.
PSrf_pcb, киньте плз ссылку на чипмейкер где тема обсуждается- тоже интересно посмотреть на обсуждение.