Цитата(andreysar @ Apr 8 2015, 22:38)

возможно, фемтосекундный лазер (сейчас появилась и такие инструменты)
Фемтосекундником пластину 0.2 мм толщиной? А как фокусироваться, чтобы стенка прямая была? И как вжигаться чтобы из точку вжигания грат не разнесло по всей пластине?
В принципе экспловские пикосекундники на третье гармонике под тако дело наверно подходят, но вот качество поверхности вызывает вопросы в свете именно миллиметровой СВЧ. Микрофото можно тут глянуть
http://www.ekspla.com/application-notes