Прямой угол в канале полевика, какая у него длина и ширина? Опции

[SM]

Что-то втупил слегка. Имеется длиннющий полевик шириной W, представляющий собой "змеевик", накрытый поликремнием. Eго можно представить как последовательно соединенные "прямые" части, и углы. Что из себя будет представлять этот угол, который квадрат WxW? LVS считает его просто куском канала длиной W. А я что-то сомневаюсь в правильности этого.

[zzzzzzzz]

Насколько известно мне, экстракторы всегда считают ширину канала по средней линии затвора. У меня тоже постоянно с этим проблемы - приходится повышать точность сравнения геометрии при LVS на несколько процентов из-за головки под контакт к затвору кольцевого транзистора (так как в этом месте длина канала увеличивается. И ширина тоже получается). Поэтому также, стараюсь не использовать прямые углы по поликремнию - только 45-ти градусные. И получается очень хорошая экономия и точность.

Ну, а средняя линия по прямому углу затвора будет, естественно, равна L.
Никогда не встречал что-то, демонстрирующее более интеллектуальные измерения.
Можно, конечно, ради спортивного интереса посчитать эффективную ширину на этом участке (методом сеток, например). Но, заранее понятно, что разница будет пренебрежимо мала по сравнению с общей шириной.