Разрабатывали ... Вопрос: из какой области интерес: топологической или технологической? Обычно, нужен dual-oxy процесс с нитридом кремния (на инжектор)  ....
--------------------
"... аще где в книге сей грубостию моей пропись или небрежением писано, молю Вас: не зазрите моему окаянству, не кляните, но поправьте, писал бо не ангел Божий, но человек грешен и зело исполнен неведения ..."
|