В старом тестовом оборудовании (начало 80-х), для входного контроля КМОП ИМС, использовалась герконовая матрица. НО, применялась 4-х проводная схема!!!!! измерительного усилителя, где компенсировалось сопротивление контактов реле и линий(длины проводов). Погрешность измерения менее 5 процентов, точное значение уже не помню. При измерении входных токов, это единицы нан, время на перезарядку емкостей измерительных цепей доходило до 20...60 сек. Тогда это все было собрано на рассыпухе.
|