Как очень равномерно нанести фоторезист?, Интересуют мнения Опции

[phantom]

Все о том же Позитиве 20. Равномерные зигзагообразные движения баллончиком - это конечно, но когда платы делаешь не часто - навыки плавного танца пропадают Я вот думаю, надо бы какой-нить девайс сообразить для этого дела. У меня два варианта - "центрифужный" и электростат. Первый - механики многовато будет. Второй, если к баллону приложить (-) 20кВ постоянки а к медной плате (+), то может и получится равномерно наносить? Какие будут мысли?

[kipmaster]

Пользуюсь иногда Позитивом 20. Результат на четверочку. Кстати, срок годности моего баллона закончился еще в 2005, но на качестве это не сказывается. Насчет элекстростата - мудрено как-то. А центрифуга только в лабораторных условиях при большом везении поможет, ибо есть 2 главных врага: быстрое высыхание и пыль. Центрифуга их усугубляет.
Основные факторы для успеха:
1. Наности с одного нажатия, быстро и равномерно. После паузы слой мгновенно подсыхает и повторное нанесение приводит к разводам и пятнам! Толщина слоя важна, но не критична, может даже немного отличаться на разных участках.
2. Хорошо просушить. 30-40 минут при 70 град. - это обеспечит бОльшую стойкость незасвеченных участков.
3. Очень большое значение имеет концентрация травящего раствора (щелочи). Здесь нужна особая точность, меньше - недотравливается, больше - растворяется все. Очень помогает мягкая кисточка для снятия протравленного желатина, только синтетическая, иначе щелочь ее съест.
Вроде все. Травлю соляной кислотой с перекисью (гидропиритом).

[prog_sun]

kipmaster

А центрифуга только в лабораторных условиях при большом везении поможет, ибо есть 2 главных врага: быстрое высыхание и пыль

И не только в лабораторных условиях, и вообще везение там не нужно. Нужно быстровращающийся моторчик, сбоку железный ободочек и просто капнуть в центр вращающейся заготовки платы каплю всего одну и все. Вон даже говорят что мотор от бобинника используют. Что может быть проще?
В микроэлектронной промышленности использовали и используют центрафугу. Правда тебе не нужно 10 тыс оборотов в минуту достаточно и 1.5 тыс оборотов в минуту( при этом получаются более толстые пленки вот и вся разница).

khach

Ненадо его вскарывать-пусть запас хранится в баллоне. Берем одноразовый шприц. Вытаскиваем поршень. На дно набиваем немного ваты (фильтр). Пшикаем в шприц до заполнения его наполовину.

Видать уже покупали позитив 20 и не раз проделывали эту процедуру. Я честно говоря еще ни разу не покупал позитив 20.

[prog_sun]

Проблема в том, что при распылении одна- две пылинки на плату все-таки сядут, и в плате в этом месте будут дырки.

Ни разу с проблемой пылинки не сталкивался. Используя центрафугу достаточно не "на улице", а в "домашних" услових сделать плату. У меня необходимости в обеспечении обеспыленной атмосфере 1 класса еще не было. А распыление в "домашних" условиях изначально невыгодный вариант нанесения фоторезиста. Дырки у меня появлялись по другой причине. Когда на прозрачке печатаешь рисунок, и смотришь отдельную линию она кажется сплошной однородной. А под биологическим микроскопом эта "сплошная" линия видятся в виде "сетки". Поэтому приходилось тонер менять и заново печатать.

По поводу центрифуги- там есть один тонкий момент- нужен плавный разгон моторчика, иначе действительно розочка получится вместо однородной пленки.

А зачем нужен плавный разгон моторчика? Мотор включили разогнали, все стабилизировалось и капаешь прямь в центр одну каплю. Обьем капли регулируется в зависимости от площади платы. Розочка получается если не по технологии приготовили поверхность меди. К примеру не обезжирили и поверхность, не достаточно зеркальная(главное что бы не было грубых царапин). Для позитива точно так же должно быть (я так думаю). Единственный дефект от использования центрофуги это валик по краям платы. Решается просто, плату берете больше по размерам чем размер схемы.

Нормально рисует, на тонком слое позитива можно получить дорожку в десятки микрон.

Ого если такие тонкие дорожки рисуете, то учтите еще, что максимум собственной чувствительности позитива должен совпадать с длинной волны применяемой вами лампы засветки. Я не знаю что за полимерная основа, светочувствительный компонент и сенсибилизатор применен в позитиве.

Притом не всегда процесс фотолитографии масочный- есть микроскоп с подвижным столиком с шаговыми моторами и через микроскоп фокусируется свет ртутной лампы. На лампе стоят диафрагма и задвижка. Нормально рисует, на тонком слое позитива можно получить дорожку в десятки микрон.
Сейчас как прожект рассматривается применение сканирующего узла от лазерного принтера для засветки. Источник- Гелий-кадмиевый лазер. Но есть проблемы с софтом. Если заставить призму крутиться и модулировать лазер получается без проблем, то подключить сей печатающий узел к компу пока неполучилось.

2002 году как настроил фотолитографию на основе центрафуги и лазерного принтера, так и осталось с тех пор. Только им и пользуюсь. Правда тонкие дорожки порядка 10 микрон не дел.

[prog_sun]

Притом не всегда процесс фотолитографии масочный- есть микроскоп с подвижным столиком с шаговыми моторами и через микроскоп фокусируется свет ртутной лампы. На лампе стоят диафрагма и задвижка. Нормально рисует, на тонком слое позитива можно получить дорожку в десятки микрон.

А где софт для управления этим устройством достали. Дело в том что у меня есть такой микроскоп, точнее координатный столик(самодельный с шаговыми двигателями) сверху не проблема приделать лампу с фокусирующими линзами. Я в интернете тогда смотрел и вышел на кад системы а там свой специализированный "язык" помоему G называется, непомню. Короче тогда сложности с софтом были большие, и поэтому оставил эту идею.