Цитата(Georgy @ Apr 1 2008, 01:08)

Если в суть смотреть, согласовывать надо процесс горения плазмы.
До поджига разве надо это делать?
Поджиг производится быстро, или предусмотреть неаварийность этого процесса.
А без согласования он может незажечься... Имею время от времени секс с ремонтом машин плазменного травления. Вот там похожая история. Только частота 13Мгц и мощности до 2 кВт.
@BIBIGON
Можете пару статей по устройству своего лазера кинуть (конфигурация резонатора, плазмы, рассчет полей в симуляторе, ЭМ симуляция плазмы кодом PIC, температруры ионов итд)? МОжет тогда чего и посоветуем по согласованию. А почему такая частота жестко заданная? Или используется циклотронный нагрев ионов в магнтном поле?