Ширина затвора транзистора Опции

[Yura08]

http://www.osp.ru/cw/2001/48/47512/

"Ширина затвора транзистора связана с часто используемой характеристикой процессоров — нормой проектирования (но не эквивалентна ей). Самые современные технологии обеспечивают норму проектирования 0,13 мкм: это означает, что на таком расстоянии друг от друга расположены провода на поверхности микросхемы. Ширина затвора транзистора должна быть еще меньше (чтобы его можно было устанавливать между проводами) и в современных коммерческих микросхемах составляет около 0,1 мкм."

"на таком расстоянии друг от друга расположены провода на поверхности микросхемы"

А куда подевали "провода" над самими затворами? 0,13 мкм - это же расстояние между стоком и истоком, а не между сток-затвор и затвор-исток.

[zzzzzzzz]

А почему не вышло? Бабки не дали или проблемы не решались? Дело-то востребованное "по самое не хочу".
Степпер - главный инструмент для любой технологической линейки. А сейчас желающих - очередь.

[DS]

А почему не вышло? Бабки не дали или проблемы не решались? Дело-то востребованное "по самое не хочу".
Степпер - главный инструмент для любой технологической линейки. А сейчас желающих - очередь.

Проблемы не решались. Если бы виден был путь решения проблем, ASML бы за бабками не постояла. Она миллионов на сто неустойки 5 лет назад влетела, когда пообещала Интелу сделать ВУФ литографиб и не сделала.
Основная проблема - лазер лампой практически невозможно переплюнуть, да и зеркала на такие короткие длины волн хреновые. У них начиналось с техзадания на источник излучения на 13 нм порядка десятков ватт, а под конец речь уже о киловаттах шла. Ну и на кашдом шагу вперед по огромной технической заднице - оптический путь в вакууме, там ионы из источника летят, при киловаттных мощностях они разрушают зеркала за часы ну и так далее.
Мой научный руководитель в свое время любил заставить студентов на лекции прикинуть размер и потребляемую мощность установки, которую пришлось бы строить до изобретения лазера, если, как он выражался -"партия и правительство потребовали бы создать источник излучения с параметрами небольшого гелий неонового лазера". Получалось нехилое здание, чуть не с мегаваттом потребления.