Да смысла мерить емкость нет никакого на таких частотах. Например 0402 на 18пФ от Мюраты на частоте 1575МГц представляет собой перемычку. Для 603 или 805 типоразмера это уже будет не емкость а индуктивность

Лучше установите софт от производителя кондеров, где можно более-менее точно определить импеданс на нужной частоте. У Мюраты эта прога называется Murata Chip S-Parameter & Impedance Library