Резистивный слой на ПП, кто имел такой опыт? Опции

[eugene1]

Есть задача установить в тракт на ПП аттенюаторы. Можно было бы взять обычные резисторы и сделать П- или Т-образные аттенюаторы, но недавно выяснил, что обычные резисторы SMD размером 0402 и 0201 дают в нужной мне полосе (от 2ГГц до 18ГГц) большую неравномерность (несколько дБ). Выхода из этой ситуации вижу два. Первое - взять готовые аттенюаторы для ПП (делает Aeforlex) или нанести на ПП плёнку из резистивного материала. Опыта такого нет, звонил в Резонит, там сказали, что не делали пока такое. Кто делал - подскажите во-первых где такое делают, и во-вторых как оно работает, т.е. какие свойства у этих резисторов на ВЧ.

[EUrry]

Особенности изготовления тонкопленочных микросхем:
1) материал подложки - ситалл;
2) максимальный размер подложки 48х60 мм;
3) слои - проводящий, резистивный, защита;
4) мин. ширина проводника - 50 мкм;
5) мин. зазор между проводниками - 50 мкм;
6) диапазон пленочных резисторов от 3 Ом до 100KОм;

1) поликор тоже годится полированный (дорогой только из-за этого), теплопроводность у него выше, чем у ситалла. Также используются кварцевые и сапфировые подложки.
2) Ну, к особенностям тонкопленочной технологии это не относится.
3) Это толстопленочная. В тонких пленках проводниковые слои имеют плохую адгезию к подложке, поэтому сначала наносят резистивный адгезионный подслой. А в толстопленочной слои наносят в последовательности уменьшения температуры вжигания паст. Проводниковые имеют самую высокую температуру вжигания, поэтому наносятся первыми.
4), 5) Это больше на толстые пленки похоже, либо на очень плохую фотолитографию в тонких.
6) Можно и побольше 100 кОм.

Поликор без проблем использовали до 15ГГц.

Это, наверное, толщиной 0,5 мм, т. к. миллиметровый выше 10 гиг уже начинает хандрить, видимо, из-за возбуждения высших типов волн.