| |
 Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс. |
|
|
|
 |
Ответов
|
|
 Aug 22 2010, 12:53
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 35
Регистрация: 18-10-09
Пользователь №: 53 036
|
я делаю как...беру технологическую карту нужной операции, например разгонка р-кармана, делаю последовательно операции загрузки, нагрева, окисления, перераспределения примеси, по заданным в карте временам и температурам, и проверяю контролируемые параметры, как правило это толщина окисла, если есть окисление, Rs, и глубина p-n - перехода. если все это попало в "ворота" то дальше в любом маршруте где есть эта операция - копи-паст и все. Если какой то из параметров не попадает в нормы, то начинаются танцы с бубном, а именно меняю среду, парциальные давления газовой смеси, или потоки газов, если не хватает толщины окисла то добавляю воду. Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)
Сообщение отредактировал KriegerNsk - Aug 22 2010, 12:54
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 23 2010, 11:12
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
|
Цитата(KriegerNsk @ Aug 22 2010, 16:53)  Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки) или наоборот советские установки под TCAD =) в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 25 2010, 10:23
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(R1kky @ Aug 23 2010, 15:12) или наоборот советские установки под TCAD =)
в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?
Сообщение отредактировал baumanets - Aug 25 2010, 10:25
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 25 2010, 13:48
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
|
Цитата(baumanets @ Aug 25 2010, 14:23) Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb
Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"? огромный pdbSet в помощь
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 26 2010, 10:19
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(R1kky @ Aug 25 2010, 17:48) огромный pdbSet в помощь я это и без тебя знаю. Меня интересуют те, кто крутил их параметры.
--------------------
|
|
|
|
|
|
Сообщений в этой теме
 baumanets Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс. Jan 13 2010, 19:45 Rikky а какая версия дистрибутива?
насколько я знаю кал... Aug 17 2010, 13:49 baumanets Версия дистрибутива 10 Aug 20 2010, 13:58  R1kky Цитата(baumanets @ Aug 25 2010, 14:23) Ме... Aug 31 2010, 13:20 baumanets Цитата(R1kky @ Aug 31 2010, 17:20) правил... Sep 3 2010, 17:17 KriegerNsk по всей видимости из нас троих никто этого не дела... Sep 5 2010, 05:23 baumanets Цитата(KriegerNsk @ Sep 5 2010, 09:23) по... Sep 5 2010, 18:41 parex Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 22:41) Хот... Jun 24 2011, 10:06 SKLeF Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 21:41) Хот... Oct 4 2012, 18:08 nikolascha Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 20:41) Хот... Oct 5 2012, 10:52
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0
|
|
|
