Тонкопленочные транзисторы на аморфном кремнии, пара вопросов Опции

[BarsMonster]

Тут имеются ввиду TFT на аморфном кремнии / a-Si:H

1) Насколько у них все плохо с параметрами? Наверное я плохо искал, но не нашел насколько именно.
2) Подскажите литературу, где можно почитать про TFT на аморфном кремнии и вообще.
3) Почему обычно пленки наращивают из силана, а не прямым испарением кремния в вакууме, и где про это можно почитать :-)

В очередной раз заранее прошу прощения за нубские вопросы :-)

Сообщение отредактировал BarsMonster - Sep 16 2010, 15:56

[proxi]

помнятся полупроводники на основе стекла, тоже аморфные...мож это одно и то же..
что то у них было особенное...радиационная стойкость?

[BarsMonster]

помнятся полупроводники на основе стекла, тоже аморфные...мож это одно и то же..
что то у них было особенное...радиационная стойкость?

Да, на подложке из стекла они обычно, но ограничений вроде не много по материалу.
Особенное - свет могут пропускать, потому вероятно вы на них сейчас смотрите ;-)