Тонкопленочные транзисторы на аморфном кремнии, пара вопросов Опции

[BarsMonster]

Тут имеются ввиду TFT на аморфном кремнии / a-Si:H

1) Насколько у них все плохо с параметрами? Наверное я плохо искал, но не нашел насколько именно.
2) Подскажите литературу, где можно почитать про TFT на аморфном кремнии и вообще.
3) Почему обычно пленки наращивают из силана, а не прямым испарением кремния в вакууме, и где про это можно почитать :-)

В очередной раз заранее прошу прощения за нубские вопросы :-)

Сообщение отредактировал BarsMonster - Sep 16 2010, 15:56

[BarsMonster]

После более серьёзного копания увидел, что с силаном возни немало :-)

Все-же, знает ли кто-то где можно почитать про выращивание кремния в вакууме испарением, насколько плохо все получается?