реклама на сайте
подробности
 
 Wiki Wiki  Photo Photo  Forum Forum  Reviews Reviews  Help (!) Help (!)
 
> Вопросы по технологиям изготовления ИС, дабы не плодить темы
BarsMonster
сообщение Oct 30 2010, 12:57
Сообщение #1


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
Решил создать это тему для всех вопросов, а то так я темами весь форум заполню :-)

Очередные вопросы (сквозная нумерация, чтобы не путаться кто на что отвечает):

1) Почему когда выполняют ионную имплантацию/травление наращивают SiO2 специально для маскирования ненужных областей?
Неужели слой фоторезиста плохо защищает, даже если его толщина в 2-3 раза больше SiO2?

2) Где и что можно почитать по оптике используемой в (иммерсионной) фотолитографии и high-NA?

Сообщение отредактировал BarsMonster - Oct 30 2010, 13:47


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 
 Start new topic
Ответов
BarsMonster
сообщение Dec 15 2010, 17:42
Сообщение #2


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
8) Какие вообще подзатворные диэлектрики используются, кроме SiO2?
А то уж больно муторно его выращивать...

Цитата(KriegerNsk @ Nov 15 2010, 08:25) *
MicroTec. Можно 3D, 2D и 1D профили посмотреть, и ВАХ посчитать.


Очень долго бился головой об гугол, но так и не нашел рабочую версию :-(


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post

Сообщений в этой теме
- BarsMonster   Вопросы по технологиям изготовления ИС   Oct 30 2010, 12:57
- - KriegerNsk   Цитата(BarsMonster @ Oct 30 2010, 19:57) ...   Nov 1 2010, 02:53
- - BarsMonster   3) В установках плазменного травления/легирования ...   Nov 8 2010, 13:12
- - KriegerNsk   Цитата(BarsMonster @ Nov 8 2010, 19:12) 3...   Nov 9 2010, 07:19
|- - BarsMonster   Цитата(KriegerNsk @ Nov 9 2010, 10:19) Де...   Nov 9 2010, 17:29
- - BarsMonster   4) Есть ли софт попроще TCAD-а для моделирования о...   Nov 13 2010, 19:47
|- - KriegerNsk   Цитата(BarsMonster @ Nov 14 2010, 01:47) ...   Nov 15 2010, 02:25
|- - zzzzzzzz   Цитата(KriegerNsk @ Nov 15 2010, 05:25) M...   Nov 15 2010, 08:56
|- - KriegerNsk   Цитата(zzzzzzzz @ Nov 15 2010, 14:56) Ест...   Nov 16 2010, 03:23
|- - zzzzzzzz   Цитата(KriegerNsk @ Nov 16 2010, 06:23) У...   Nov 16 2010, 08:34
- - BarsMonster   5) Как отличается работа диодов шотки с кремнием л...   Nov 16 2010, 13:39
- - BarsMonster   6) Почитал замечательную книжку - "Металлизац...   Nov 17 2010, 22:08
|- - KriegerNsk   Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 04:08) ...   Nov 18 2010, 04:02
||- - aht   Цитата(KriegerNsk @ Nov 18 2010, 08:02) М...   Nov 18 2010, 08:08
||- - KriegerNsk   Цитата(aht @ Nov 18 2010, 14:08) Извиняюс...   Nov 18 2010, 08:59
|- - BarsMonster   Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 01:08) ...   Dec 7 2010, 19:55
|- - baumanets   Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 04:08) ...   Jan 14 2011, 07:03
- - BarsMonster   7) А наносят ли диэлектрики испарением в вакууме? ...   Nov 26 2010, 00:23
|- - alexunder   Цитата(BarsMonster @ Nov 26 2010, 04:23) ...   Feb 6 2011, 20:46
|- - BarsMonster   Цитата(alexunder @ Feb 6 2011, 23:46) Al2...   Feb 6 2011, 20:52
|- - alexunder   Цитата(BarsMonster @ Feb 7 2011, 00:52) У...   Feb 6 2011, 21:01
|- - KriegerNsk   Цитата(BarsMonster @ Dec 16 2010, 02:42) ...   Jan 14 2011, 05:55
|- - BarsMonster   Цитата(KriegerNsk @ Jan 14 2011, 11:55) h...   Jan 15 2011, 06:18
- - BarsMonster   9) Кто может провести платный урок по workflow раз...   Dec 16 2010, 14:54
|- - aht   Цитата(BarsMonster @ Dec 16 2010, 20:54) ...   Dec 17 2010, 04:49
|- - BarsMonster   Цитата(aht @ Dec 17 2010, 10:49) На самом...   Dec 17 2010, 13:45
- - Losik   BarsMonster могу предложить учебные материалы в ду...   Dec 17 2010, 14:01
|- - BarsMonster   Цитата(Losik @ Dec 17 2010, 20:01) BarsMo...   Dec 17 2010, 14:02
- - Losik   Для начала могу предложить книгу Digital VLSI Chip...   Dec 17 2010, 14:53
- - BarsMonster   10) Насколько верно то, что от утоньшения техпроце...   Dec 29 2010, 05:04
- - sherr   Цитата(BarsMonster @ Oct 30 2010, 16:57) ...   Feb 1 2011, 17:55
|- - BarsMonster   Цитата(sherr @ Feb 1 2011, 20:55) Как чел...   Feb 6 2011, 00:15
- - BarsMonster   9) Насколько более чуствительны к загрязнениям MOS...   Feb 27 2011, 12:12

 

Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 

RSS Текстовая версия Сейчас: 28th July 2025 - 02:08
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01378 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016