Проектирвать- в CST. Задача ведь трехмерная. С проектированием сталкиваться не приходилось, а вот с ремонтом- да. Горят они как спички при пробое исследуемой структуры мощного транзистора.Трехлапый зонд ценой в килоевро и больше- в хлам сгорает. Много нестандартного там наворочать сложно- микрокабель полужесткий- стандартный, размер контактного пада- тоже. Длина и форма пружин берется по образцу и подобию фирменной. Главное- жесткость пружин подобрать и гальванику для надежного контакта. Неполохо в микропозиционер показометр силы прижима встроить, чтобы прижим выходил с постоянной силой. При смене зондов на самодельные работающим на зондовой станции приходиться переучиваться под новую жесткость контактных падов.
Вот тут еще посмотрите
http://www.ggb.com/index.html - там в даташитах неплохо конструкция контакта видна.