| |
 Вопросы по технологиям изготовления ИС, дабы не плодить темы |
|
|
|
 |
Ответов
|
|
 Feb 6 2011, 20:46
|
unexpected token
Группа: Свой
Сообщений: 899
Регистрация: 31-08-06
Из: Мехелен, Брюссель
Пользователь №: 19 987
|
Цитата(BarsMonster @ Nov 26 2010, 04:23)  7) А наносят ли диэлектрики испарением в вакууме?
Температура кипения диэлектриков при околонулевом давлении хоть и выше используемых металлов (Al ~600, Ag/Au ~1000), но не выглядит фатальной (~1700C для SiO2)...
Понятно что какие-нибуть 10-20нм равно проще и надежнее вырастить из кремния, а вот 0.1-1um.... Наносят и испарением в вакууме. Я частенько пользуюсь "тупым" термически распыленным SiOx, но исключительно для изоляции сигналов. Для подзатворных диэлектриков в современных СБИС давно не используют SiO2, а ростят посредством ALD-метода диэлектрики с высокой эпсилон, типа Al2O3, HfO2, Gd2O3 и др... Вообще ваши вопросы выглядят мягко говоря странными. Настоятельно рекомендую к прочтению S.M. Sze "Physics of semiconductor devices" 3ed, 2007, есть на gigapedia.org. Второе издание этой книги (в двух томах) издавалось в СССР и есть на русском языке. Цитата(BarsMonster @ Dec 15 2010, 21:42) 8) Какие вообще подзатворные диэлектрики используются, кроме SiO2?
А то уж больно муторно его выращивать... Al2O3, HfO2 и другие. У нас, к примеру был экспериментальный реактор для извращений типа оксид скандия. Работало хорошо, но все high-k диэлектрики очень нежные, не все выживают processing.
--------------------
А у тебя SQUID, и значит, мы умрем.
|
|
|
|
|
|
|
|
Feb 6 2011, 20:52
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849
|
Цитата(alexunder @ Feb 6 2011, 23:46) Al2O3, HfO2 и другие. У нас, к примеру был экспериментальный реактор для извращений типа оксид скандия. Работало хорошо, но все high-k диэлектрики очень нежные, не все выживают processing. У нас - это где если не секрет? :-) Книгу поищу, спасибо.
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Feb 6 2011, 21:01
|
unexpected token
Группа: Свой
Сообщений: 899
Регистрация: 31-08-06
Из: Мехелен, Брюссель
Пользователь №: 19 987
|
Цитата(BarsMonster @ Feb 7 2011, 00:52) У нас - это где если не секрет? :-) www.imec.be Цитата(BarsMonster @ Feb 7 2011, 00:52) Книгу поищу, спасибо. зарегестрируйтесь на gigapedia.org - это бесплатно, а литературы там по физике пп-приборов, микроэлектронике/технологиям и физике твердого тела море! Причем постоянно новье выкладывают толковые парни.
--------------------
А у тебя SQUID, и значит, мы умрем.
|
|
|
|
|
|
Сообщений в этой теме
 BarsMonster Вопросы по технологиям изготовления ИС Oct 30 2010, 12:57 KriegerNsk Цитата(BarsMonster @ Oct 30 2010, 19:57) ... Nov 1 2010, 02:53 BarsMonster 3) В установках плазменного травления/легирования ... Nov 8 2010, 13:12 KriegerNsk Цитата(BarsMonster @ Nov 8 2010, 19:12) 3... Nov 9 2010, 07:19  BarsMonster Цитата(KriegerNsk @ Nov 9 2010, 10:19) Де... Nov 9 2010, 17:29 BarsMonster 4) Есть ли софт попроще TCAD-а для моделирования о... Nov 13 2010, 19:47 KriegerNsk Цитата(BarsMonster @ Nov 14 2010, 01:47) ... Nov 15 2010, 02:25 zzzzzzzz Цитата(KriegerNsk @ Nov 15 2010, 05:25) M... Nov 15 2010, 08:56 KriegerNsk Цитата(zzzzzzzz @ Nov 15 2010, 14:56) Ест... Nov 16 2010, 03:23 zzzzzzzz Цитата(KriegerNsk @ Nov 16 2010, 06:23) У... Nov 16 2010, 08:34 BarsMonster 5) Как отличается работа диодов шотки с кремнием л... Nov 16 2010, 13:39 BarsMonster 6) Почитал замечательную книжку - "Металлизац... Nov 17 2010, 22:08 KriegerNsk Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 04:08) ... Nov 18 2010, 04:02 aht Цитата(KriegerNsk @ Nov 18 2010, 08:02) М... Nov 18 2010, 08:08 KriegerNsk Цитата(aht @ Nov 18 2010, 14:08) Извиняюс... Nov 18 2010, 08:59 BarsMonster Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 01:08) ... Dec 7 2010, 19:55 baumanets Цитата(BarsMonster @ Nov 18 2010, 04:08) ... Jan 14 2011, 07:03 BarsMonster 8) Какие вообще подзатворные диэлектрики использую... Dec 15 2010, 17:42 KriegerNsk Цитата(BarsMonster @ Dec 16 2010, 02:42) ... Jan 14 2011, 05:55 BarsMonster Цитата(KriegerNsk @ Jan 14 2011, 11:55) h... Jan 15 2011, 06:18 BarsMonster 9) Кто может провести платный урок по workflow раз... Dec 16 2010, 14:54 aht Цитата(BarsMonster @ Dec 16 2010, 20:54) ... Dec 17 2010, 04:49 BarsMonster Цитата(aht @ Dec 17 2010, 10:49) На самом... Dec 17 2010, 13:45 Losik BarsMonster могу предложить учебные материалы в ду... Dec 17 2010, 14:01 BarsMonster Цитата(Losik @ Dec 17 2010, 20:01) BarsMo... Dec 17 2010, 14:02 Losik Для начала могу предложить книгу Digital VLSI Chip... Dec 17 2010, 14:53 BarsMonster 10) Насколько верно то, что от утоньшения техпроце... Dec 29 2010, 05:04 sherr Цитата(BarsMonster @ Oct 30 2010, 16:57) ... Feb 1 2011, 17:55 BarsMonster Цитата(sherr @ Feb 1 2011, 20:55) Как чел... Feb 6 2011, 00:15 BarsMonster 9) Насколько более чуствительны к загрязнениям MOS... Feb 27 2011, 12:12
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0
|
|
|
