Цитата(BarsMonster @ Apr 28 2011, 02:29)
Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотя бы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?
Скорее всего ГОИ не получится, лучше сразу алмазные пасты, наверное последовательно снижая зернистость.
И станок высокооборотный.
Кремний же очень твердый, но хрупкий на излом.
В идеале, моют деионизированой водой, если не ошибаюсь, вода с удельным сопрот. то ли еденицы, то ли десятки. Мом/м или см, уже не вспомнить.
Не знаю о пластинах, но монокристаллы-затравки, кажется травили (особо не обращал внимания).
В любом случае если травить, то мыть ведь потом надо.
УЗ тоже должен помочь.
Полировка пластин, монокристалл Si
Apr 27 2011, 23:29
